선택한 단어 수는 입니다.
최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
선택한 단어 수는 30입니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개실용신안 |
---|---|
국제특허분류(IPC8판) |
|
출원번호 | 20-1994-0031673 (1994-11-28) |
공개번호 | 20-1996-0019078 (1996-06-19) |
DOI | http://doi.org/10.8080/2019940031673 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
심사청구여부 | 있음 (1994-11-28) |
심사진행상태 | 거절결정(일반) |
법적상태 | 거절 |
[청구범위]반응실인 쳄버와,상기 쳄버에 진공을 베공하는 통로인 진공라인과,상기 쳄버에 가스가 유입되는 통로인 가스라인 및 상기 가스라인에서 상기 쳄버로 유입되는 가스를 가열시키는 히터로 구성된 고진공의 쳄버를 구비한 장치에 있어서,상기 쳄버에 연결되어쳄버의 미립자를 퍼지하는 질소의 이동 통로인 질소라인과,상기 질소라인에 설치되어 질소의 흐름을 제어하는 밸브로 구성된 것을 특징으로 하는 퍼지장치
대표청구항이 없습니다.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.