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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록실용신안 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 20-2001-0016808 (2001-06-05) |
등록번호 | 20-0247348-0000 (2001-09-07) |
DOI | http://doi.org/10.8080/2020010016808 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 설정등록의뢰 |
법적상태 | 소멸 |
본 고안은 클린룸 등으로 공급되는 공기중에 포함되어 있는 먼지나 각종 이물질을 제거하기 위한 필터와, 이 필터를 향해 공기를 송풍하는 블로어로 이루어져 있는 송풍 여과장치에서, 블로어에 터보팬을 장착하여 소음과 진동을 줄이고 소형화 및 소비전력의 감소를 도모할 수 있는 클린룸의 송풍 여과장치에 관한 것으로, 이 송풍 여과장치에 있어서, 블로어에는 모터(131)의 작동으로 회전되는 터보팬(132)이 구비되어 있으며, 필터는 상기 터보팬(132)이 내장된 블로어 케이싱(135)의 유입구(134)에 설치되어 공기 중의 먼지나 이물질을 1
공기를 압송하는 블로어와, 이 블로어에 의해 클린룸으로 공급되는 공기 중의 먼지나 이물질을 제거하기 위한 필터를 포함하는 클린룸의 송풍 여과장치에 있어서, 상기 블로어에는 모터(131)의 작동으로 회전되는 터보팬(132)이 구비되어 있으며, 필터는 상기 터보팬(132)이 내장된 블로어 케이싱(135)의 유입구(134)에 설치되어 공기 중의 먼지나 이물질을 1차로 제거하기 위한 제 1필터(133)와, 이 제 1필터(133)를 통과하여 블로어 케이싱(135)으로 유입된 공기 중의 먼지나 이물질을 2차로 제거하기 위한 제 2필터(136)
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