초록 ▼

본 고안은 웨이퍼 식각용 챔버의 일부를 교환가능하도록 하고 열화에 의한 변형이 방지되는 웨이퍼 식각용 챔버에 관한 것이다.본 고안에 따른 웨이퍼 식각용 챔버는 내부 일측에 웨이퍼가 출납되는 웨이퍼 출납공이 형성되는 웨이퍼 식각용 챔버에 있어서, 상기 웨이퍼 식각용 챔버의 웨이퍼 출납공 주변에 소정의 공간을 형성하고, 상기 챔버의 내경과 동일한 외경을 갖고, 상기 챔버의 웨이퍼 출납공에 대응하는 웨이퍼 출납공이 형성되는 원통형의 라이너가 구비되며, 외부가 상기 웨이퍼 식각용 챔버에 형성된 공간에 대응하고, 내부에 웨이퍼가 출납할 수

본 고안은 웨이퍼 식각용 챔버의 일부를 교환가능하도록 하고 열화에 의한 변형이 방지되는 웨이퍼 식각용 챔버에 관한 것이다.본 고안에 따른 웨이퍼 식각용 챔버는 내부 일측에 웨이퍼가 출납되는 웨이퍼 출납공이 형성되는 웨이퍼 식각용 챔버에 있어서, 상기 웨이퍼 식각용 챔버의 웨이퍼 출납공 주변에 소정의 공간을 형성하고, 상기 챔버의 내경과 동일한 외경을 갖고, 상기 챔버의 웨이퍼 출납공에 대응하는 웨이퍼 출납공이 형성되는 원통형의 라이너가 구비되며, 외부가 상기 웨이퍼 식각용 챔버에 형성된 공간에 대응하고, 내부에 웨이퍼가 출납할 수 있는 웨이퍼 출납공이 형성되어, 상기 웨이퍼 식각용 챔버에 형성된 공간에 삽입되는 슬릿 라이너가 구비되는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 라이너의 열화현상 및 열화로 인한 변형, 파손이 적어지므로 웨이퍼 식각용 챔버의 교환 주기가 길어지고, 분진 발생이 방지되어 수율이 향상된다.

대표청구항 ▼

내부 일측에 웨이퍼가 출납되는 웨이퍼 출납공(12)이 형성되는 웨이퍼 식각용 챔버(11)에 있어서,상기 웨이퍼 식각용 챔버(11)의 웨이퍼 출납공(12) 주변에 소정의 공간을 형성하고,상기 챔버(11)의 내경과 동일한 외경을 갖고, 상기 챔버의 웨이퍼 출납공(12)에 대응하는 웨이퍼 출납공(14)이 형성되는 원통형의 라이너(13)가 구비되며,외부가 상기 웨이퍼 식각용 챔버에 형성된 공간에 대응하고, 내부에 웨이퍼가 출납할 수 있는 웨이퍼 출납공(16)이 형성되어, 상기 웨이퍼 식각용 챔버(11)에 형성된 공간에 삽입되는 슬릿 라이

내부 일측에 웨이퍼가 출납되는 웨이퍼 출납공(12)이 형성되는 웨이퍼 식각용 챔버(11)에 있어서,상기 웨이퍼 식각용 챔버(11)의 웨이퍼 출납공(12) 주변에 소정의 공간을 형성하고,상기 챔버(11)의 내경과 동일한 외경을 갖고, 상기 챔버의 웨이퍼 출납공(12)에 대응하는 웨이퍼 출납공(14)이 형성되는 원통형의 라이너(13)가 구비되며,외부가 상기 웨이퍼 식각용 챔버에 형성된 공간에 대응하고, 내부에 웨이퍼가 출납할 수 있는 웨이퍼 출납공(16)이 형성되어, 상기 웨이퍼 식각용 챔버(11)에 형성된 공간에 삽입되는 슬릿 라이너(15)가 구비되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 식각용 챔버.