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Process for converting silicon-and-fluorine-containing waste gases into silicon dioxide and hydrogen fluoride 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • C01B-033/18
출원번호 US-0529315 (1974-12-04)
발명자 / 주소
  • Flemmert Gosta Lennart (Hamngatan 22 Nynashamn SW)
인용정보 피인용 횟수 : 15  인용 특허 : 0

초록 ▼

A process is provided for converting silicon and fluorine-containing waste gases into silicon dioxide and hydrogen fluoride, absorbing the waste gases in water to form hydrofluosilicic acid, decomposing the hydrofluosilicic acid in the presence of concentrated sulfuric acid to form silicon tetrafluo

대표청구항 ▼

A cyclic process for producing hydrogen fluoride and highly active silicon dioxide from silicon-and fluorine-containing waste gases, the silicon and fluorine being present at least as silicon tetrafluoride and hydrogen fluoride, and also silicon dioxide, if present, which comprises combining water a

이 특허를 인용한 특허 (15)

  1. Shamouil Shamouilian ; Mehran Moalem ; Tony S. Kaushal, Abatement of fluorine gas from effluent.
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  2. Shamouilian, Shamouil; Kaushal, Tony S., Abatement of hazardous gases in effluent.
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  3. Ferron, Shawn; Kelly, John; Vermeulen, Robbert, Apparatus and method for controlled combustion of gaseous pollutants.
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  4. Talwar Jaidev S. (Morris County NJ) Hendrickson ; Jr. James (Sussex County NJ), Continuous production of silicon tetrafluoride gas in a vertical column.
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  5. Kaushal, Tony S.; Shamouilian, Shamouil; Borgaonkar, Harshad; Wong, Kwok Manus; Chafin, Michael G.; Bhatnagar, Ashish, Heated catalytic treatment of an effluent gas from a substrate fabrication process.
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  6. Kosintsev Feoktist I. (ulitsa Lenina ; 213 ; kv. 16 Stavropol SUX) Novikov Vladimir G. (ulitsa 50-let VLKSM ; 36/3 ; kv. 36 Stavropol SUX) Belov Viktor Y. (kvartal 106 ; dom. 6 ; kv. 8 Angarsk ; Irku, Method of producing hydrogen fluoride and silicon dioxide from silicon tetra-fluoride.
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  7. Houng, Mau-Phon; Wang, Yeong-Her; Chang, Wai-Jyh, Method of surface treatment on the improvement of electrical properties for doped silicon oxides (SiO2) films.
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  8. Clark, Daniel O.; Raoux, Sebastien; Vermeulen, Robert M.; Crawford, Shaun W., Methods and apparatus for sensing characteristics of the contents of a process abatement reactor.
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  9. Gupta, Puneet; Bhusarapu, Satish, Methods for producing aluminum trifluoride.
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  10. Gupta, Puneet; Bhusarapu, Satish, Methods for producing aluminum trifluoride.
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  11. Bhusarapu, Satish; Gupta, Puneet, Methods for producing silicon tetrafluoride.
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  12. Porcham Wolfgang (Mils ATX), Process for producing silicon tetrafluoride.
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  13. Revankar, Vithal; Lahoti, Sanjeev, Process of silicon tetrafluoride gas synthesis.
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  14. Barnett Robert J. ; Mezner Michael B., Production of fumed silica.
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  15. Chiu, Ho-Man Rodney; Clark, Daniel O.; Crawford, Shaun W.; Jung, Jay J.; Todd, Leonard B.; Vermeulen, Robbert, Reactor design to reduce particle deposition during process abatement.
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