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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0588530 (1975-06-19) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 9 인용 특허 : 0 |
A portable carrier for a semiconductor wafer is detachably connected to an air slide so that the wafer can be propelled from the carrier to the air slide and vice versa by air from the air slide. The carrier has a chamber with an air slide base on which the wafer is supported by air from the air sli
A device for supplying an article to and receiving an article from an air slide or the like including: a portable carrier having a chamber in which the article is supported; means to detachably connect said carrier to the air slide; said carrier having means to receive pressurized air to selectively
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