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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0554485 (1975-03-03) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 38 인용 특허 : 0 |
There is disclosed herein an electrode type glow discharge apparatus, such as that used for sputtering material from a cathode to provide a coating or the like on materials such as a substrate or substrates. Several exemplary embodiments are disclosed involving various combinations of constructural
Electrode-type glow discharge apparatus comprising: a low pressure gaseous environment; anode means and cathode means within said low pressure gaseous environment and adapted to be coupled to a power supply; said cathode means including a central cathode and a pair of electrically conductive end fla
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