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Automated single cassette load mechanism for scrubber 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B65H-001/06
출원번호 US-0685303 (1976-05-11)
발명자 / 주소
  • Hillman Gary (Livingston NJ) Devico Michael J. (Chatham NJ)
출원인 / 주소
  • Machine Technology, Inc. (East Hanover NJ 02)
인용정보 피인용 횟수 : 45  인용 특허 : 0

초록 ▼

Apparatus is provided for transferring a selected one of a plurality of workpieces, such as silicon wafers or masks, from within a cassette containing the workpieces to a processing station for scrubbing, etching, etc. The apparatus includes a wafer-supporting arm which is movable between a retracte

대표청구항 ▼

Apparatus for transferring a selected one of a plurality of silicon wafers from within a cassette containing said wafers to a scrubbing station, comprising: a frame; said frame comprising a scrubbing station; cassette-receiving means for receiving a cassette in a position adjacent to said scrubbing

이 특허를 인용한 특허 (45)

  1. Yoshizawa Takeshi (Kawasaki JPX), Apparatus for cleaning glass masks.
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  2. Hillman Gary (Livingston NJ), Apparatus for dispensing liquid to spinning workpieces.
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  3. Hahn, Christopher; Lee, Hanjoo, Apparatus for ejecting fluid onto a substrate and system and method incorporating the same.
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  4. Kondo Kenshi (Tokyo JPX), Apparatus for soldering printed circuit boards.
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  5. Davis James C. (Carlisle MA), Articulated arm transfer device.
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  6. Eastman Richard H. (Needham MA) Davis ; Jr. James C. (Carlisle MA), Articulated arm transfer device.
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  7. Hofmeister Christopher, Articulated arm transfer device.
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  8. Hillman ; Gary ; Devico ; Michael, Automated two-sided cleaning apparatus.
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  9. Masada Daizo (Urayasu JPX), Automatic board loaders.
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  10. Gockel Thomas R. ; Olson Lorin ; Ryle Lynn ; Whitelaw Brett A., Brush assembly apparatus.
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  11. Gockel Thomas R. ; Olson Lorin ; Ryle Lynn ; Whitelaw Brett A. ; Ravkin Michael, Brush assembly apparatus.
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  12. Vail Jim ; Wallis Mike, Brush interflow distributor.
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  13. Akiyama,Shuji; Iijima,Toshihiko; Hosaka,Hiroki, Conveyance method for transporting objects.
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  14. Jacoby Hans-Dieter (Werdorf DEX) Schmidt Peter (Huettenberg DEX), Device for automatically transporting disk shaped objects.
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  15. Rubin Richard H. (159 C Meriline Ave. West Paterson NJ 07424), Flexible workpiece transporter and roller assembly therefor.
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  16. Krusell Wilbur C. ; Thrasher David L. ; Ryle Lynn S., Megasonic bath.
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  17. Jiang Linda (Tong) ; Hymes Diane J., Method and apparatus for cleaning low K dielectric and metal wafer surfaces.
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  18. Jiang Linda ; Hymes Diane J., Method and apparatus for cleaning low K dielectric and metal wafer surfaces.
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  19. Nakamura Gen,JPX, Method and apparatus for manufacture of semiconductor devices.
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  20. Hillman Gary (Livingston NJ) Devico Michael J. (Madison NJ), Method and apparatus for processing workpieces.
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  21. Julia S. Svirchevski ; Katrina A. Mikhaylich, Method and system for cleaning a chemical mechanical polishing pad.
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  22. Jeffrey J. Farber ; Julia S. Svirchevski, Method and system of cleaning a wafer after chemical mechanical polishing or plasma processing.
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  23. Bran, Mario E., Method for megasonic processing of an article.
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  24. Stephens Donald Edgar ; Jones Oliver David ; Miller ; III Hugo John, Method of cleaning semiconductor wafers and other substrates.
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  25. Bran, Mario E., Method of manufacturing integrated circuit devices.
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  26. Christopher A. Hofmeister, Method of transferring substrates with two different substrate holding end effectors.
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  27. Jim Vail ; Mike Wallis, Methods for applying fluid through a brush interflow distributor.
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  28. Rubin Richard H. (Fairfield NJ) Petrone Benjamin J. (Netcong NJ) Heim Richard C. (Mountain View CA) Pawenski Scott M. (Wappingers Falls NY), Modular processing apparatus for processing semiconductor wafers.
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  29. Muka Richard S., Multi-level substrate processing apparatus.
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  30. Muka Richard S., Multi-level substrate processing apparatus.
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  31. Rubin Richard H. (West Paterson NJ) Hillman Gary (Livingston NJ) Zarr Lewis E. (Sparta NJ) Hayes William K. (Parsippany NJ), Process apparatus and method and elevator mechanism for use in connection therewith.
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  32. Simmons Mark A. ; McGrath Martin J. ; Thrasher David L., Scrubber control system.
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  33. Thrasher David L. ; Ryle Lynn S. ; Ruppell Robert M. ; Hearne John S. ; Krussell Wilbur C. ; Youre Gary D., Substrate processing system.
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  34. Hofmeister Christopher A., Substrate transport apparatus with angled arms.
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  35. Muka Richard S. ; Davis ; Jr. James C. ; Hofmeister Christopher A., Substrate transport apparatus with double substrate holders.
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  36. Muka Richard S. ; Davis ; Jr. James C. ; Hofmeister Christopher A., Substrate transport apparatus with double substrate holders.
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  37. Mikhaylich, Katrina A.; Ravkin, Mike; Anderson, Don E., System for cleaning a semiconductor wafer.
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  38. Bran, Mario E., System for megasonic processing of an article.
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  39. Donald Edgar Stephens ; Oliver David Jones ; Hugo John Miller, III, Wafer cleaning apparatus.
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  40. Jones Oliver David ; Vail Jim, Wafer cleaning apparatus.
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  41. Stephens Donald Edgar ; Jones Oliver David ; Miller ; III Hugo John, Wafer cleaning apparatus.
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  42. Hertel Richard J. (Bradford MA), Wafer orientation system.
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  43. Mikahara Takanori (Tuchiura JPX), Wafer pick out apparatus.
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  44. Boyd, John M.; Mikhaylich, Katrina A., Web-style pad conditioning system and methods for implementing the same.
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  45. Caveney Robert T. ; Hofmeister Christopher A., Wide wrist articulated arm transfer device.
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