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특허 상세정보

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Automated single cassette load mechanism for scrubber

특허상세정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) B65H-001/06   
미국특허분류(USC) 214/301 ; 214/1BT
출원번호 US-0685303 (1976-05-11)
발명자 / 주소
출원인 / 주소
인용정보 피인용 횟수 : 45  인용 특허 : 0
초록
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Apparatus is provided for transferring a selected one of a plurality of workpieces, such as silicon wafers or masks, from within a cassette containing the workpieces to a processing station for scrubbing, etching, etc. The apparatus includes a wafer-supporting arm which is movable between a retracted position within the cassette and a scrubbing station for moving the selected one of the silicon wafers from its position within the cassette to the scrubbing station and for returning the selected wafer from the scrubbing station to the cassette. A selection...

대표
청구항
▼

Apparatus for transferring a selected one of a plurality of silicon wafers from within a cassette containing said wafers to a scrubbing station, comprising: a frame; said frame comprising a scrubbing station; cassette-receiving means for receiving a cassette in a position adjacent to said scrubbing station; selection means for selecting one of the silicon wafers contained in said cassette which is to be transferred to said scrubbing station; and a wafer-transfer arm operatively associated with said selection means and movable between a retracted position...

이 특허를 인용한 특허 피인용횟수: 45

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