[특허]Wafer packaging system

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IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	B65D-081/24 B65D-025/12
출원번호	US-0721013 (1976-09-07)
발명자 / 주소	MacLeod George M. Riley James F.
출원인 / 주소	Monsanto
대리인 / 주소	Croskell, Henry
인용정보	피인용 횟수 : 16 인용 특허 : 0

초록 ▼

A wafer packaging system for clean packaging and damage-free transporting of semiconductor wafers. The system includes tubular outer and inner containers, the inner container adapted to be contained by the outer container with the longitudinal axes of both containers extending in the same axial direction. The inner container includes provision for holding a plurality of the semiconductor wafers in spaced face-to-face relationship. The system provides a sealed container arrangement preventing contaminants outside the outer container from contaminating wafers within the inner container. Shock-absorbing features associated with the containers prevent shocks applied to the outer container from damaging the wafers.

대표청구항

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Rice Kenneth E. ; Suddarth Mick ; Edwards Bryan ; Roberts Derrick, Box closing apparatus.
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Davidson James P. ; Lunday Andrew Paul ; Hampton Gordon P. ; Lenk James C. ; Anderson Gary L. ; Shive Larry W., Box handling apparatus and method.
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Wollmann Andrew F. (Chandler AZ), Cantilever diffusion tube apparatus and method.
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Nakamura Yoshiaki (Tokyo JPX) Abe Takaharu (Tokyo JPX), Container for storage or transportation of semiconductor chips.
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Johnson, Douglas M., Disk package.
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Kikuchi Shoji (Tokyo JPX), Hard disk container.
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Brooks Ray G., Method and apparatus for packaging contaminant-sensitive articles and resulting package.
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Brooks Ray Gene, Method and apparatus for packing contaminant-sensitive articles and resulting package.
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Zhao, Siping; Hua, Younan; Nistala, Ramesh Rao; Li, Kun, Method for performing a shelf lifetime acceleration test.
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Johnson, Douglas M., Package.
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Blome Eugene R. (San Jose CA), Processing, shipping and/or storage container for photomasks and/or wafers.
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Gipson Jerome (5748 Berkeley St. Vancouver ; British Columbia CAX), Sealed enclosure for display objects.
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Johnson Douglas M. (Waconia MN), Shipping container for semiconductor substrate wafers.
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James E. Boyle ; Robert L. Davis ; Laurence D. Delaney ; Raanan Y. Zehavi, Silicon fixtures for supporting wafers during thermal processing.
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Elliott David J. (147 Rice Rd. Wayland MA 01778), Transport containers for semiconductor wafers.
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Davis Cecil J. (Greenville TX) Matthews Robert (Plano TX), Vacuum slice carrier.
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IPC 상위 출원인

특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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