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Process for doping high purity silicon in an arc heater 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B01K-001/00
  • C01B-033/00
  • C04B-035/00
  • H01L-003/06
출원번호 US-0787634 (1977-04-14)
발명자 / 주소
  • Fey
  • Maurice G.
출원인 / 주소
  • Westinghouse Electric Corp.
대리인 / 주소
    Johns, L. P.
인용정보 피인용 횟수 : 16  인용 특허 : 0

초록

A method for doping solar grade silicon characterized by the steps of feeding into an arc heated gas stream a quantity of a metal reductant such as an alkali metal or an alkaline-earth metal and also feeding into the stream a quantity of a silicon halide and of a corresponding halide of a doping age

대표청구항

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이 특허를 인용한 특허 (16)

  1. Sanjurjo Angel (San Jose CA), Apparatus for obtaining silicon from fluosilicic acid.
  2. Spear, Richard A.; Rutter, Jr., Edward W.; Metin, Lea M.; Xu, Helen X., Borate esters, boron-comprising dopants, and methods of fabricating boron-comprising dopants.
  3. Leung, Roger Yu-Kwan; Zhou, De-Ling; Fan, Wenya, Boron-comprising inks for forming boron-doped regions in semiconductor substrates using non-contact printing processes and methods for fabricating such boron-comprising inks.
  4. Leung, Roger Yu-Kwan; Fan, Wenya; Nedbal, Jan, Compositions for forming doped regions in semiconductor substrates, methods for fabricating such compositions, and methods for forming doped regions using such compositions.
  5. Zhou, Ligui; Spear, Richard A.; Leung, Roger Yu-Kwan; Fan, Wenya; Xu, Helen X.; Metin, Lea M.; Bhanap, Anil Shriram, Dopant ink compositions for forming doped regions in semiconductor substrates, and methods for fabricating dopant ink compositions.
  6. Cann Gordon L. (P.O. Box 279 Laguna Beach CA 92652), Magnetoplasmadynamic apparatus and process for the separation and deposition of materials.
  7. Cann Gordon L. (P.O. Box 279 Laguna Beach CA 92652), Magnetoplasmadynamic apparatus for the separation and deposition of materials.
  8. de Graffenried, Sr., Christopher Lawrence, Manufacture of gas from hydrogen-bearing starting materials.
  9. Christensen Howard, Method for making large area single crystal silicon sheets.
  10. Dahlberg, Reinhard, Method of producing silicon.
  11. Huang, Hong Min; Gao, Carol; Ding, Zhe; Peng, Albert; Liu, Ya Qun, Phosphorous-comprising dopants and methods for forming phosphorous-doped regions in semiconductor substrates using phosphorous-comprising dopants.
  12. Stocks Stephen C. (Albany OR) Rasmussen Patrick L. (Corvallis OR), Plasma furnace inert gas recycling system and process.
  13. Do,Robert T.; Leatherman,Gary L., Plasma pyrolysis, gasification and vitrification of organic material.
  14. Nanis Leonard (Palo Alto CA) Sanjurjo Angel (San Jose CA), Process and apparatus for obtaining silicon from fluosilicic acid.
  15. Sancier Kenneth M. (Menlo Park CA), Process and apparatus for obtaining silicon from fluosilicic acid.
  16. Harvey ; II Francis J. (Murrysville PA) Ciliberti David F. (Murrysville PA) Meyer Thomas N. (Murrysville PA) Fey Maurice G. (Pittsburgh PA), Production of high purity silicon by a heterogeneous arc heater reduction.
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