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특허 상세정보

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Arc heater method for the production of single crystal silicon

특허상세정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) B01K-001/00    C01B-033/02    C04B-035/00    H01L-003/00   
미국특허분류(USC) 204/164 ; 136/261 ; 156/DIG64 ; 156/DIG88 ; 156/613 ; 156/620.1 ; 252/62.3E ; 423/350
출원번호 US-0787635 (1977-04-14)
발명자 / 주소
출원인 / 주소
대리인 / 주소
    Johns, L. P.
인용정보 피인용 횟수 : 14  인용 특허 : 1
초록

A method for the production of single crystal silicon characterized by the steps of feeding into an arc heater a quantity of uncontaminated silicon halide to react with hydrogen or a metal reductant, such as sodium, to produce reaction products including liquid silicon and a gaseous salt of the reductant, depositing the liquid silicon on a downwardly inclined surface, and attaching a single seed crystal of silicon to the liquid silicon and withdrawing the single seed crystal from the liquid silicon so as to propagate a large single crystal.

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이 특허에 인용된 특허 (1)

  1. Setty H. S. N. (Dalas TX) Yaws Carl L. (Dalas TX) Martin Bobby Ray (Plano TX) Wangler Daniel Joseph (Irving TX). Method of operating a quartz fluidized bed reactor for the production of silicon. USP1976063963838.

이 특허를 인용한 특허 피인용횟수: 14

  1. Sanjurjo Angel (San Jose CA). Apparatus for obtaining silicon from fluosilicic acid. USP1986054590043.
  2. Jewett David N. (Harvard MA). Apparatus for producing semiconductor grade silicon and replenishing the melt of a crystal growth system. USP1981054265859.
  3. Nakashima, Junichirou; Wakamatsu, Satoru; Sakita, Manabu. Cylindrical vessel made of carbon and process for making silicon. USP2012108282904.
  4. Cann Gordon L. (P.O. Box 279 Laguna Beach CA 92652). Magnetoplasmadynamic apparatus and process for the separation and deposition of materials. USP1984094471003.
  5. Cann Gordon L. (P.O. Box 279 Laguna Beach CA 92652). Magnetoplasmadynamic apparatus for the separation and deposition of materials. USP1984124487162.
  6. Christensen Howard. Method for making large area single crystal silicon sheets. USP1998095800611.
  7. Dahlberg, Reinhard. Method of producing silicon. USP1983034377564.
  8. Isenberg Arnold O. (Forest Hills Boro. PA). Method of vapor deposition. USP1983024374163.
  9. Nanis Leonard (Palo Alto CA) Sanjurjo Angel (San Jose CA). Process and apparatus for obtaining silicon from fluosilicic acid. USP1986044584181.
  10. Sancier Kenneth M. (Menlo Park CA). Process and apparatus for obtaining silicon from fluosilicic acid. USP1985074529576.
  11. Petrik, Adolf; Schmid, Christian; Hahn, Jochem. Process and apparatuses for preparing ultrapure silicon. USP2014038673255.
  12. Harvey ; II Francis J. (Murrysville PA) Ciliberti David F. (Murrysville PA) Meyer Thomas N. (Murrysville PA) Fey Maurice G. (Pittsburgh PA). Production of high purity silicon by a heterogeneous arc heater reduction. USP1980124239740.
  13. Kutsovsky, Yakov E.; Davis, Sheldon B.. Production of silicon through a closed-loop process. USP2010087780938.
  14. Anglerot Didier (Paris FRX). Production of thin layers of polycrystalline silicon on a liquid layer containing a reducing agent. USP1980094225367.

IPC 상위 출원인