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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0756241 (1977-01-03) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 18 인용 특허 : 0 |
A gas mixture of silane and ammonia is heated at temperatures between about 600.degree. C and 1000.degree. C producing an amorphous powdery reaction product which, when heated at a calcination temperature of at least 1100.degree. C yields ultrafine Si.sub.3 N.sub.4 powder of high purity.
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