[특허]Electroless deposition of nickel on a masked aluminum surface

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Electroless deposition of nickel on a masked aluminum surface 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	C23C-003/02
출원번호	US-0754124 (1976-12-27)
발명자 / 주소	Vratny Frederick
출원인 / 주소	Bell Telephone Laboratories, Incorporated
대리인 / 주소	Urbano, Michael J.
인용정보	피인용 횟수 : 24 인용 특허 : 0

초록 ▼

A method for depositing electroless nickel on aluminum or aluminum alloy is described. The method is particularly useful for fabricating bonding pads on aluminum metallized semiconductor devices and for creating beam leads. The described method deposits a thick nickel layer directly on aluminum without the use of intermediate layers or surface activation as required in the prior art. The method basically comprises immersion in a stop-etchant which simultaneously removes aluminum oxide and activates the surface; immersion in a solution which activates the aluminum with nickel ions and deactivates mask material; and immersion in a novel electroless nickel bath. A technique for electrolessly depositing gold is also described.

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Lee Chwan-Ying,TWX ; Huang Tzuen-Hsi,TWX, Electroless copper plating method for forming integrated circuit structures.
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Mallory ; Jr. Glenn O. (Los Angeles CA), Electrolessly plated product having a polymetallic catalytic film underlayer.
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Hooper Robert C. (Houston TX) Harrover Alexander J. (Missouri City TX) VanHoy Michael J. (Stafford TX) Terry Charles E. (Houston TX), Low cost method for forming elevated metal bumps on integrated circuit bodies employing an aluminum/palladium metallizat.
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Holbrook Walter R. (Reading PA) Sponsler William A. (West Lawn PA), Masking portions of a substrate.
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Oberle Robert R., Use of palladium immersion deposition to selectively initiate electroless plating on Ti and W alloys for wafer fabrication.
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A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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