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특허 상세정보

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Laser autoalignment system using distortion compensated reflection grating

특허상세정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) G01B-011/26   
미국특허분류(USC) 356/152 ; 250/201
출원번호 US-0834098 (1977-09-16)
발명자 / 주소
출원인 / 주소
인용정보 피인용 횟수 : 6  인용 특허 : 1
초록
▼

A method and system for automatically aligning a high power laser utilizing a diffraction ruled reflection grating to sample the laser beam. A tiltable beam alignment mirror directs a laser beam in a path incident to the reflection grating which separates the incident beam into a reflected beam and first and second order diffraction beams. A tiltable distortion compensation mirror is positioned in the path of the two diffraction beams. Two auxiliary fixed mirrors are positioned such that the diffraction beams will reflect a predetermined number of times ...

대표
청구항
▼

An autoalignment system for a high power laser comprising: a diffractive reflection grating for separating an incident laser beam into a reflected beam and, at least, a first order diffraction beam and a second order diffraction beam, said diffraction beams manifesting angular deflections as a result of either the directional misalignment of said incident laser beam or the thermal distortion of said reflection grating; beam alignment means for reflecting said laser beam on a path incident to said reflection grating; detecting means for generating a defle...

이 특허에 인용된 특허 (1)

  1. Lehmberg Robert H. (Springfield VA). Optical pulse compression and shaping system. USP1976033943457.

이 특허를 인용한 특허 피인용횟수: 6

  1. Arnold, Ralf; Mueller, Ulrich. Beam regulating apparatus for an EUV illumination beam. USP2014108853642.
  2. Ho, James G.; Poylio, James H.. Co-alignment of time-multiplexed pulsed laser beams to a single reference point. USP2004116816535.
  3. Edlin George R. (Huntsville AL). Doppler effect laser velocity measuring system. USP1986064595287.
  4. Fitts John M. (Santa Monica CA). Laser beam wavefront and line-of-sight error correction system. USP1982044326800.
  5. Cubalchini Ronald (Santa Monica CA). Precision pointing and tracking control system. USP1979094168908.
  6. Bluege John H. (Lake Park FL). Shared aperture sampler. USP1989124887276.

IPC 상위 출원인