과제명
NTIS 과제연계
과제기간
총연구비
- 검색어에 아래의 연산자를 사용하시면 더 정확한 검색결과를 얻을 수 있습니다.
- 검색연산자
| 검색연산자 | 기능 | 검색시 예 |
|---|---|---|
| () | 우선순위가 가장 높은 연산자 | 예1) (나노 (기계 | machine)) |
| 공백 | 두 개의 검색어(식)을 모두 포함하고 있는 문서 검색 | 예1) (나노 기계) 예2) 나노 장영실 |
| | | 두 개의 검색어(식) 중 하나 이상 포함하고 있는 문서 검색 | 예1) (줄기세포 | 면역) 예2) 줄기세포 | 장영실 |
| ! | NOT 이후에 있는 검색어가 포함된 문서는 제외 | 예1) (황금 !백금) 예2) !image |
| * | 검색어의 *란에 0개 이상의 임의의 문자가 포함된 문서 검색 | 예) semi* |
| "" | 따옴표 내의 구문과 완전히 일치하는 문서만 검색 | 예) "Transform and Quantization" |
연합인증
연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.
이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.
연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.
한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.
다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)
연합인증 절차는 다음과 같습니다.
최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용
그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용
연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.
이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.
연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.
한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.
다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)
연합인증 절차는 다음과 같습니다.
최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용
그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용
연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기
특허 상세정보
Wafer transport system
| 국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
|---|---|
| 국제특허분류(IPC7판) | B65B-021/02 B65G-001/06 |
| 미국특허분류(USC) | 214/301 ; 214/164 ; R |
| 출원번호 | US-0799547 (1977-05-23) |
| 발명자 / 주소 | |
| 출원인 / 주소 | |
| 인용정보 | 피인용 횟수 : 28 인용 특허 : 0 |
초록
An article handling system especially adapted for transporting thin, fragile articles such as silicon wafers into and out of a sealed environment such as a vacuum chamber comprises a vibratory track for transporting articles to be processed, an article handler associated with the track for removing articles from the track for processing and returning them to the track thereafter, and a pair of loader/unloaders at opposite ends of the track for intermittently supplying articles to be processed to the track and removing them therefrom after processing.
대표
청구항
A loader/unloader for wafers, comprising: A. a cassette for holding a plurality of wafers thereon in spacd apart position, and having an open face through which said wafers may be removed from, or supplied to, said cassette; B. said cassette including at least first and second side walls having ribs on the interior surfaces thereof for supporting the wafers thereon and spaced apart in a vertical direction by an amount at least slightly greater than the thickness of the wafer to be stored therein; C. a tongue extensible into said face and between said waf...
이 특허를 인용한 특허 피인용횟수: 28
- Yoon, Sung-Hwan. Apparatus for loading substrate of liquid crystal display. USP2010057708515.
- Murata, Kazutoshi; Mori, Yasunari. Atomic layer deposition apparatus and thin film forming method. USP2015069068261.
- Farber Glenn L. (Port Jefferson NY) Navarro Maria C. (North Masssapequa NY) Hegemann Manfred K. (Nyack NY) Cohen Samuel G. (Pleasantville NY) Cox Cameron O. (Monsey NY). Automated microbiological testing apparatus. USP1988014720463.
- Masada Daizo (Urayasu JPX). Automatic board loaders. USP1986114621967.
- Saitoh Kunio (Yokohama JPX) Ohtani Tamio (Hadano JPX) Kanaya Yasuhiko (Machida JPX). Board exchanging apparatus. USP1989094867297.
- Babler Egan (Northbrook IL) Domanik Richard A. (Libertyville IL) Gombrich Peter G. (Chicago IL) Mayer William J. (South Barrington IL). Cassette for use with automated specimen handling system. USP1997115690892.
- Poduje Noel S. (Needham Heights MA). Conductivity-type sensor. USP1987094692695.
- Mallory Roy (Bedford MA). Contacts for conductivity-type sensors. USP1987024646009.
- Domanik Richard A. ; Dadeshidze Vladimir ; Olsson Lars J.. Cytological specimen analysis system with slide mapping and generation of viewing path information. USP2000076091842.
- Anil Mankame ; Anthony Florindi ; Fredrick Arnold Goodman. Edge gripping end effector wafer handling apparatus. USP2002126491330.
- Nakagawa Tadahiro (Kyoto JPX) Tazuke Shizuma (Kyoto JPX) Omuro Satoshi (Kyoto JPX) Yoshida Kiyoshi (Kyoto JPX) Kashiwagi Nobuaki (Kyoto JPX) Kimoto Takashi (Kyoto JPX). Electrode forming apparatus for chip type electronic components. USP1997055632813.
- Weaver, William T.; Carlson, Charles T.; Olson, Joseph C.; Buonodono, James; Sullivan, Paul. High-throughput ion implanter. USP2016099437392.
- Brailove, Adam Alexander. Ion beam processing apparatus. USP2012018089055.
- Guarino Nicholas (Arlington MA). Lock and elevator arrangement for loading workpieces into the work chamber of an electron beam lithography system. USP1981074278380.
- Ramos, Richard. Low shock work transport system for pressure vessels. USP2005036860417.
- Price, JB; Keller, Jed; Dulmage, Laurence; Cheng, David. Method and apparatus for semiconductor processing. USP2010077748944.
- Domanik Richard A. ; Gruber Dennis W. ; Gombrich Peter P. ; Mayer William J.. Multifunctional control unit for a microscope. USP2000096118581.
- Rubin Richard H. (West Paterson NJ) Hillman Gary (Livingston NJ) Zarr Lewis E. (Sparta NJ) Hayes William K. (Parsippany NJ). Process apparatus and method and elevator mechanism for use in connection therewith. USP1987084685852.
- Maydan Dan (Los Altos Hills CA) Somekh Sasson R. (Redwood City CA) Ryan-Harris Charles (La Honda CA) Seilheimer Richard A. (Pleasanton CA) Cheng David (San Jose CA) Abolnikov Edward M. (San Francisco. Semiconductor processing system with robotic autoloader and load lock. USP1990034911597.
- Domanik Richard A ; Gombrich Peter G. ; Mayer William J.. Specimen management system. USP1999105963368.
- Dorner Wolfgang C. (Oconomwooc WI). Stacker assembly for a conveyor system. USP1987084684308.
- Dorner Wolfgang C. (Oconomowoc WI). Storage unit for a conveyor system. USP1986094609091.
- Park,Yong Seok. System and method for conveying flat panel display. USP2007127311488.
- Weaver, William T.; Carrera, Jaime A.; Vopat, Robert B.; Webb, Aaron; Carlson, Charles T.. System and method for handling multiple workpieces for matrix configuration processing. USP2014048698104.
- Domanik Richard A. ; Gruber Dennis W. ; Mayer William J.. System for simplifying the implementation of specified functions. USP1999075930732.
- Strait, David Robert. Vacuum chamber with recessed viewing tube and imaging device situated therein. USP2004076762415.
- Carlson Stevermer,Craig K.. Wafer staging platform for a wafer inspection system. USP2007067230441.
- Schaller, Jason M.; Vopat, Robert Brent; Carlson, Charles T.; Daniel, Malcolm N.; Webb, Aaron P.; Weaver, William T.. Workpiece handling system and methods of workpiece handling. USP2017079694989.
