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Carrier for semiconductive wafers 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B23P-017/00
  • A47G-019/02
출원번호 US-0915277 (1978-06-13)
발명자 / 주소
  • Hofmeister Lucien (Mountain View CA) Schulte Harvey L. (Los Altos CA)
출원인 / 주소
  • Kasper Instruments, Inc. (Sunnyvale CA 02)
인용정보 피인용 횟수 : 38  인용 특허 : 1

초록

A carrier having a plurality of transport channels arranged in stacked parallel relationship for receiving semiconductive wafers is provided with a pair of oppositely facing recessed regions extending partially into the transport channels. In each of these recessed regions a separate spring-loaded s

대표청구항

A carrier for preventing spillage of workpieces contained therein, said carrier comprising: a pair of side plates coupled together for forming a plurality of transport channels, at least one of said side plates having a recessed region extending partially into the transport channels; a stop member p

이 특허에 인용된 특허 (1)

  1. Sullivan John E. (Santa Clara CA), Low stress semiconductor wafer carrier and method of manufacture.

이 특허를 인용한 특허 (38)

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  2. Chen, Chien Chih; Lu, Chien Chih; Chou, Wu Sung; Wen, Huan Ming, Apparatus for carrying substrates.
  3. Hirayama Makoto (Itami JPX), Apparatus for manufacturing semiconductor device.
  4. McConnell Christopher F. (Gulph Mills PA) Walter Alan E. (Exton PA), Apparatus for treating semiconductor wafers.
  5. Dejima, Nobukazu; Takeuchi, Masaya; Ohishi, Seiki; Okimoto, Yuji; Tokumitsu, Naoya; Komaba, Takeshi, Assemblies of stacked cassettes.
  6. Tressler Richard E. (Julian PA) Stach Joseph (State College PA) Baeten Roger L. (State College PA), Cantilevered boat-free semiconductor wafer handling system.
  7. Schulte Harvey L. (Los Altos CA), Carrier for semiconductive wafers.
  8. Kim Moo Gap,KRX ; Yoo Eun Chan,KRX, Cassette for loading glass substrates.
  9. Nemeth Bradley M., Collapsible CD tower.
  10. Wolf, Ehrenfried G. B., Dental bridge.
  11. Mitsui, Nobuyuki; Inada, Hiroshi, Deposition method for semiconductor laser bars using a clamping jig.
  12. Lau,Wai Ming, Disc storage device.
  13. Wong,Kent, Disc storage device.
  14. Anderson Thomas E. ; Young Jerry L. ; Dickson Glenn ; Derango Louis A., Earthquake-resistant electronic equipment frame.
  15. Rheault Denis J. A. (Brossard CAX), Earthquake-resistant electronic equipment frame.
  16. Ma Edmund L. ; Lada Christopher O. ; Langhans Donald H., End effector for substrate handling.
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  18. Wingo, Larry S., Method of making a silicon carbide rail for use in a semiconductor wafer carrier.
  19. Alan E. Walter, Methods for treating objects.
  20. Walter Alan E., Methods for treating objects.
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  27. Pozzoli Alessio,ITX ; Ribet Samuel,HKX, Storage rack.
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  30. Huang,Chun Kai; Chang,Ming Hui, Supporting column and cassette using the same.
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  32. Elliott David J. (147 Rice Rd. Wayland MA 01778), Transport containers for semiconductor wafers.
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  36. Easley Micheal E. ; Plummer Ronald E., Vertical semiconductor wafer carrier with slats.
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  38. McConnell Christopher F. (Gulph Mills PA), Vessel and system for treating wafers with fluids.
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