[특허]Wafer packaging system

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IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	B65D-001/34 B65D-085/30
출원번호	US-0957593 (1978-11-03)
발명자 / 주소	Clement Carl J. (Los Altos Hills CA) Campbell Kenneth S. (Mountain View CA) Stengel Fred H. (Palo Alto CA)
출원인 / 주소	Monsanto Company (St. Louis MO 02)
인용정보	피인용 횟수 : 27 인용 특허 : 0

초록 ▼

A wafer packaging system for clean packaging and damage-free transporting of semiconductor wafers. The system includes tubular outer and inner containers, the inner container adapted to be contained by the outer container with the longitudinal axes of both containers extending in the same axial direction. The inner container includes provision for holding a plurality of the semiconductor wafers in spaced face-to-face relationship. The system provides a sealed container arrangement preventing contaminants outside the outer container from contaminating wafers within the inner container. Shock-absorbing features associated with the containers prevent shocks applied to the outer container from damaging the wafers.

대표청구항 ▼

In a wafer packaging system for clean packaging and damage-free transporting of semi-conductor wafers, said system, including a tubular, outer container, and a tubular, inner container, adapted to be contained by the outer container, the longitudinal axes of the inner and outer container in combination extending in the same axial direction, the improvement comprising means within the inner container for supporting a plurality of said wafers formed of a plurality of resilient projections extending toward the interior of the inner container from the interior surfaces of the inner container top and bottom portions, said resilient projections being spaced in mutliple adjacent rows, said projections in said adjacent rows being of different heights and having variable rate spring action properties, said resilient projections being spaced around and adapted for contacting the peripheral of each of the wafers, said wafers in spaced face-to-face relationship within the inner container through spacing projection means, and resiliently supported solely by said resilient projections, axial shock-absorbing means for providing shock-absorbing coupling axially between the inner and outer containers along said longitudinal axes, and radial shock-absorbing means for providing shock-absorbing coupling radially between the inner and outer containers radially to said longitudinal axes.

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