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Device/process for contact free distance and thickness measurement 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G01C-003/08
  • G01S-009/62
출원번호 US-0901202 (1978-04-28)
우선권정보 DE-2722577 (1977-05-18)
발명자 / 주소
  • Bodlaj Viktor (Munich DEX)
출원인 / 주소
  • Siemens Aktiengesellschaft (Berlin & Munich DEX 03)
인용정보 피인용 횟수 : 11  인용 특허 : 3

초록

A system is disclosed for non-contact distance or thickness measurements. A deflectable laser beam scans the object and produces a measuring impulse during a forward and reverse motion when the laser beam hits a point on an object along a sighting line of a measuring detector. A rectangular pulse is

대표청구항

A system for measuring the distance of a point on a surface of an object from a zero plane, comprising: a sharply focused light beam; beam deflector means for periodically deflecting the light beam in one direction and then a reverse direction over a measuring area in which the object is arranged, a

이 특허에 인용된 특허 (3)

  1. Bodlaj ; Viktor, Apparatus and method for measuring distance from and speed components of an object traveling vertical to a reference li.
  2. Bodlaj ; Viktor, Contact-free thickness measuring method and device.
  3. McFarlane Ian Duncan (Beaconsfield EN), Thickness measurement.

이 특허를 인용한 특허 (11)

  1. Luck, Jr., Clarence F., Automatic focusing apparatus.
  2. Brayden ; Jr. Thomas H. ; Winters ; Jr. Thomas D., Coating thickness measurement system and method of measuring a coating thickness.
  3. Reding Bruce W. (Elmira NY), Fiber optic triangulation gage.
  4. Baurschmidt Peter (Aalen DEX), Measuring microscope arrangement for measuring thickness and line width of an object.
  5. Bristow,Thomas C.; Wang,Shu W.; Stephan,John E., Method and apparatus for measuring wafer thickness.
  6. Bristow,Thomas; Wang,Shu W., Method and apparatus for measuring wafer thickness.
  7. Luck ; Jr. Clarence F. (Waltham MA), Method of focusing optical apparatus.
  8. Herron John M., Noncontacting optical method for determining thickness and related apparatus.
  9. Sjdin Bo (Jonkping SEX), Scanning of workpieces such as lumber cants.
  10. Nakauchi, Akihiro, Shape measurement apparatus, and shape measurement method.
  11. Corby ; Jr. Nelson R. (Scotia NY), Three-dimensional range camera.
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