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Silicon refinery

특허상세정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) B01J-008/18    C01B-033/00   
미국특허분류(USC) 422/142 ; 422/147 ; 422/189 ; 422/234
출원번호 US-0726018 (1976-09-22)
발명자 / 주소
출원인 / 주소
인용정보 피인용 횟수 : 24  인용 특허 : 0
초록
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A balanced, closed cycle silicon refinery system has been developed for producing electronic grade silicon from industrial grade silicon. Impurities comprising approximately 1% of the industrial grade silicon are removed in the refinery system to produce the purified silicon, while only a relatively small percentage of make-up chemicals are added to the system. In the refinery, hydrogen chloride is reacted with the impure silicon in a halide reactor to provide trichlorosilane and silicon tetrachloride and hydrogen. The trichlorosilane and/or silicon tetr...

대표
청구항
▼

A closed cycle silicon refinery system for producing purified electronic grade silicon from impure silicon comprising: (a) a first reactor having means therein for reacting a first stream comprised of hydrogen halide with said impure silicon to produce a second impurity containing effluent stream of halosilane and/or silicon halide and a third effluent stream comprised of hydrogen and unreacted hydrogen halide; (b) purification means for removing impurities from said second stream to produce a fourth effluent stream of purified halosilane and/or silicon ...

이 특허를 인용한 특허 피인용횟수: 24

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