$\require{mediawiki-texvc}$
  • 검색어에 아래의 연산자를 사용하시면 더 정확한 검색결과를 얻을 수 있습니다.
  • 검색연산자
검색도움말
검색연산자 기능 검색시 예
() 우선순위가 가장 높은 연산자 예1) (나노 (기계 | machine))
공백 두 개의 검색어(식)을 모두 포함하고 있는 문서 검색 예1) (나노 기계)
예2) 나노 장영실
| 두 개의 검색어(식) 중 하나 이상 포함하고 있는 문서 검색 예1) (줄기세포 | 면역)
예2) 줄기세포 | 장영실
! NOT 이후에 있는 검색어가 포함된 문서는 제외 예1) (황금 !백금)
예2) !image
* 검색어의 *란에 0개 이상의 임의의 문자가 포함된 문서 검색 예) semi*
"" 따옴표 내의 구문과 완전히 일치하는 문서만 검색 예) "Transform and Quantization"

통합검색

도움말도움말
상세검색 다국어 입력

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

특허 상세정보

MyON담기
내보내기 페이스북 공유 카카오톡 공유

Vapor delivery system and method of maintaining a constant level of liquid therein

특허상세정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) B01F-003/04   
미국특허분류(USC) 261/121R ; 137/209 ; 137/386 ; 137/392
출원번호 US-0036714 (1979-05-07)
발명자 / 주소
출원인 / 주소
인용정보 피인용 횟수 : 29  인용 특허 : 2
초록
▼

A vapor delivery system is disclosed comprising a bubbler 12 is adapted to generate and deliver vapors from a vaporizable liquid contained therein, and a reservoir 30 in fluid communication with the bubbler 12 from which liquid may be continuously fed into the bubbler to replenish liquid vaporized within and withdrawn from the bubbler. The system further comprises means for sensing the level of vaporizable liquid in the bubbler and means for providing a gaseous head pressure in the reservoir of variable magnitude dependent upon the level of vaporizable l...

대표
청구항

A vapor delivery system comprising a reservoir; a bubbler adapted to generate and deliver vapors from a vaporizable liquid contained therein; conduit means providing bidirectional flow of liquid between said reservoir and bubbler; means for sensing the level of vaporizable liquid contained within said bubbler; and means for providing a gaseous head pressure in said reservoir of variable magnitudes dependent upon the level of vaporizable liquid sensed by said sensing means to maintain the level of liquid in the bubbler substantially constant.

이 특허에 인용된 특허 (2)

  1. McCafferty Gerald P. (Churchville PA). Liquid level control means and method. USP1977094047655.
  2. Richards George B. (Lake Forest IL). Liquid level control sytem. USP1979044148334.

이 특허를 인용한 특허 피인용횟수: 29

  1. Scholz,Christoph. Apparatus and process for refilling a bubbler. USP2007107278438.
  2. Fair David L. (Rockford IL). Bubbler container automatic refill system. USP1990124979545.
  3. Fair David L. (Rockford IL). Bubbler container automatic refill system. USP1991085038840.
  4. Lipisko Bruce A. (Carlsbad CA) Schumacher John C. (Rancho Santa Fe CA) Howard Richard E. (Escondido CA) Randtke Peter T. (San Marcos CA) Sandu Adrian (La Mesa CA) Fletcher Robert E. (Vista CA) Graf H. Chemical refill system. USP1989084859375.
  5. Fayfield Robert T. ; Heitxinger John M.. Direct vapor delivery of enabling chemical for enhanced HF etch process performance. USP2000056065481.
  6. Fayfield Robert T. ; Heitzinger John M.. Direct vapor delivery of enabling chemical for enhanced HF etch process performance. USP2001106299724.
  7. Takimoto Hiroaki (Yokohama JPX) Miyajiri Tetsuo (Yokohama JPX) Yoshida Kiminobu (Yokohama JPX) Turita Tamio (Yokohama JPX). Gas supplying apparatus. USP1986014563312.
  8. Takeshita, Kazuhiro; Nagashima, Shinji; Mizutani, Yoji; Katayama, Kyoshige. Gas treatment apparatus. USP2003126660096.
  9. Chen Fufa ; Chang Yu ; Tzu Gwo. Liquid level pressure sensor and method. USP2001046220091.
  10. Curran,William J.. Liquid vapor delivery system and method of maintaining a constant level of fluid therein. USP2006037011299.
  11. Mostowy ; Jr. Lewis J. ; Tsai Yi-Lang. Low vapor pressure gas distribution system and method. USP2000116148847.
  12. Kelekar, Rajesh; Verma, Gaurav; Weiner, Kurt. Maintaining flow rate of a fluid. USP2011108037894.
  13. Nguyen Son T. ; Hendrickson Scott. Method and apparatus for generating controlled mixture of organic vapor and inert gas. USP2001116311959.
  14. Privett Eric B. (P.O. Box 106 Honeydew 2040 ZAX). Method and apparatus for irrigating plants. USP1986104619072.
  15. Curran,William J.. Method for maintaining a constant level of fluid in a liquid vapor delivery system. USP2006047025337.
  16. Noguchi, Masumi; Momono, Ken; Irikura, Hagane. Method of forming organic polymer thin film and an apparatus for forming the organic polymer thin film. USP2016039290837.
  17. Egan James J. (Allentown PA) Koze Jeffrey T. (Whitehall PA) Kumagai Henry Y. (Allentown PA). Methods of and apparatus for storing and delivering a fluid. USP1986044583372.
  18. Lynch Brian (Norcross GA) Narasimham Pundi L. (Norcross GA) Partus Fred P. (Marietta GA). Methods of and apparatus for vapor delivery control in optical preform manufacture. USP1986044582480.
  19. Partus Fred Paul. Methods of and systems for vapor delivery control in optical preform manufacture. USP2000126161398.
  20. Jordan, Mark A.; Daub, Alexander K.; Boroff, Arthur L.. Negative pressure vapor recovery system. USP2015038979982.
  21. Moriyama, Masashi; Yamahira, Yutaka; Matsuyama, Yuji. Processing liquid supply unit. USP1991075035200.
  22. Gibson David L.. Return circuit for vapor recovery system. USP1999025871568.
  23. Rodgers Donald B.. Self-metering reservoir. USP2000026019114.
  24. Rodgers Donald B.. Self-metering reservoir. USP1999085938985.
  25. Rodgers Donald B.. Self-metering reservoir. USP1999075921428.
  26. Rodgers Donald B.. Self-metering reservoir. USP2001126325094.
  27. Maxhimer Monroe R. (10202 N. 46th Ave. Glendale AZ 85302). Swimming pool water level control apparatus. USP1984054445238.
  28. Buchanan, Daryl; Tariq, Faisal; Mei, Hai; Tison, Stuart. System and method for producing and delivering vapor. USP2010037680399.
  29. Rodgers, Donald B.. System, apparatus and method for measuring and transferring the contents of a vessel. USP2003076588458.

IPC 상위 출원인