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특허 상세정보

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Process for the manufacture of precision templates

특허상세정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) G03C-005/00   
미국특허분류(USC) 430/320 ; 430/324 ; 430/394 ; 430/396
출원번호 US-0047475 (1979-06-11)
우선권정보 DE-2828625 (1978-06-29)
발명자 / 주소
출원인 / 주소
인용정보 피인용 횟수 : 10  인용 특허 : 1
초록
▼

A process for the manufacture of precision flat parts such as masks, templates, and the like having very small openings therein with high contour details yet with substantial material thickness utilizes a metallized glass carrier having a stencil etched thereon with a negative working photo resist laminated on it. Exposure of photo resist is achieved through the glass so that maximum intensity of light in the photo resist occurs at the juncture between the photo resist and the glass carrier for maximum adhesion. Irregularly shaped apertures can be genera...

대표
청구항
▼

A process for the manufacture of precision flat parts having apertures formed therein comprising the steps of: metallizing a thin layer of metal on one side of a flat glass substrate; removing selected portions of said metal layer to expose portions of said glass substrate; directly covering said metallized layer and said exposed portions of said glass substrate with a thick layer of negative working photo resist; forming a plurality of tapered developed photo resist areas by exposing said photo resist to a light source which is disposed on an opposite s...

이 특허에 인용된 특허 (1)

  1. Dyer ; Donald R. ; Johnson ; Jr. ; Claude ; Wilbarg ; Robert R.. Method of forming thin film patterns by differential pre-baking of resist. USP1978094115120.

이 특허를 인용한 특허 피인용횟수: 10

  1. Meeus, Thomas; Korsse, Hans; Bhatkal, Ravindra M.. Electroformed stencils for solar cell front side metallization. USP2010077749883.
  2. Hori,Hisamitsu. Exposure apparatus. USP2008107443487.
  3. Hirsh Jeffrey I. ; Mycek Edwin A. ; Lapa Larry L.. Mandrel for forming a nozzle plate having a non-wetting surface of uniform thickness and an orifice wall of tapered contour, and method of making the mandrel. USP2001016179978.
  4. Jeffrey I. Hirsh ; Edwin A. Mycek ; Larry L. Lapa. Method for forming a nozzle plate having a non-wetting surface of uniform thickness and an orifice wall of tapered contour, and nozzle plate. USP2002066406607.
  5. Tsutomu Hashizume JP. Method for producing ink-jet recording head. USP2002016334244.
  6. Becker Erwin W. (Karlsruhe DEX) Ehrfeld Wolfgang (Karlsruhe DEX) Krieg Gunther (Karlsruhe DEX) Bier Wilhelm (Eggenstein-Leopoldshafen DEX). Method for producing separating nozzle elements. USP1982094351653.
  7. Rainer Gocksch. Method of making decorative panels. USP2002026350558.
  8. Haluzak, Charles C.; Chen, Chien-Hua; Sand, Kirby. Microfluidic device and a fluid ejection device incorporating the same. USP2010117828417.
  9. Haluzak, Charles C; Chen, Chien-Hua; Sand, Kirby. Microfluidic device and a fluid ejection device incorporating the same. USP2011088007078.
  10. Uda,Yoshimi; Ishiwata,Kazuya; Kubo,Shinsaku; Watanabe,Yasuyuki. Substrate having fine lines, method for manufacturing the same, electron-source substrate, and image display apparatus. USP2006057052825.

IPC 상위 출원인