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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0943276 (1978-09-18) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 9 인용 특허 : 1 |
In an apparatus for removing a selected first gas from a chamber at a controllably variable pumping speed while maintaining a substantially constant pumping speed for removing a second gas from the same chamber, a flow restricting device is disposed between the chamber and a device that pumps the fi
Apparatus for removing a first gas from a chamber at a pumping speed which can be varied over a substantial range while removing a second gas from the chamber at a relatively more constant speed, said apparatus comprising conduit means forming a gas flow path and having an inlet opening adapted to c
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