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Method of shipping and using semiconductor liquid source materials 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B65B-003/00
  • B65D-025/08
출원번호 US-0123563 (1980-02-22)
발명자 / 주소
  • Schumacher John C. (Oceanside CA) Lagendijk Andre (Oceanside CA)
출원인 / 주소
  • J. C. Schumacher Co. (Oceanside CA 02)
인용정보 피인용 횟수 : 30  인용 특허 : 0

초록

The gas inlet tube and the outlet tube in the upper end of a “bubbler”container are each sealed with an easily breakable wall adjacent the wall where the tubes join the container. A second seal is formed on the outer ends of the tubes creating a compartment in which may be positioned a small hammer.

대표청구항

A method of packaging liquid for shipment which permits said liquid after receipt by a user, to be used in a manner which avoids exposure of said liquid to the atmosphere comprising: positioning said liquid in a bubbler container having an inlet tube connected thereto which extends into the interior

이 특허를 인용한 특허 (30)

  1. Fair David L. (Rockford IL), Bubbler container automatic refill system.
  2. Fair David L. (Rockford IL), Bubbler container automatic refill system.
  3. Cunning, Hugh; Williams, Graham; Odedra, Rajesh; Kanjolia, Ravi, Bubbler for the transportation of substances by a carrier gas.
  4. Craig M. Noah ; John N. Gregg ; Robert M. Jackson ; Craig Esser, Bulk chemical delivery system.
  5. Noah Craig M. ; Gregg John N. ; Jackson Robert M. ; Esser Craig, Bulk chemical delivery system.
  6. Noah Craig M. ; Gregg John N. ; Jackson Robert M. ; Esser Craig, Bulk chemical delivery system.
  7. Noah Craig M. ; Gregg John N. ; Jackson Robert M. ; Esser Craig, Bulk chemical delivery system.
  8. Gregg John N. ; Noah Craig M. ; Jackson Robert M., Chemical delivery system having purge system utilizing multiple purge techniques.
  9. Gregg John N. ; Noah Craig M. ; Jackson Robert M., Chemical delivery system having purge system utilizing multiple purge techniques.
  10. Gregg John N. ; Noah Craig M. ; Jackson Robert M., Chemical delivery system having purge system utilizing multiple purge techniques.
  11. John N. Gregg ; Craig M. Noah ; Robert M. Jackson, Chemical delivery system having purge system utilizing multiple purge techniques.
  12. Lipisko Bruce A. (Carlsbad CA) Schumacher John C. (Rancho Santa Fe CA) Howard Richard E. (Escondido CA) Randtke Peter T. (San Marcos CA) Sandu Adrian (La Mesa CA) Fletcher Robert E. (Vista CA) Graf H, Chemical refill system.
  13. Siegele Stephen H. (Campbell CA) Noah Craig M. (Mountain View CA) Gregg John N. (Marble Falls TX), Chemical refill system for high purity chemicals.
  14. Jenkins Glen D. (Rockford IL), Container for a bubbler.
  15. Sansegundo-Sanchez, Javier; Benavides-Rel, Xavier; Vales-Canle, Manuel; Tomas-Martinez, Maria, Cooled gas distribution plate, thermal bridge breaking system, and related methods.
  16. Howard Richard E. (Escondido CA) Keene Joseph P. (Oceanside CA), Disposable chemical container.
  17. Sanchez, Javier San Segundo; Barona, Jose Luis Montesinos; Conejero, Evaristo Ayuso; Canle, Manuel Vicente Vales; Rel, Xavier Benavides; Garcia, Pedro-Tomas Lujan; Martinez, Maria Tomas, Fluidized bed reactor for production of high purity silicon.
  18. Sanchez, Javier San Segundo; Barona, Jose Luis Montesinos; Conejero, Evaristo Ayuso; Canle, Manuel Vicente Vales; Rel, Xavier Benavides; Garcia, Pedro-Tomas Lujan; Martinez, Maria Tomas, Fluidized bed reactor for production of high purity silicon.
  19. Siegele Stephen H. ; Gregg John N. ; Noah Craig M., High aspect ratio containers for ultrahigh purity chemicals.
  20. Stillings Matthew J., High purity, non-contaminating, burst disk.
  21. Riahi Shantia (Vista CA), Ion Beam implant system.
  22. Siegele Stephen H. ; Noah Craig M. ; Gregg John N., Level control systems for high purity chemical delivery systems.
  23. Siegele Stephen H. (Campbell CA) Noah Craig M. (Mountain View CA) Gregg John N. (Marble Falls TX), Manifold systems for high purity chemical delivery systems.
  24. Graf Hans-Juergen (Oceanside CA), Method and apparatus for packaging, shipping and using poisonous liquids.
  25. Jursich, Gregory M., Methods and apparatus for delivering high purity liquids with low vapor pressure.
  26. Froehlich, Robert; Mixon, David, Methods and system for cooling a reaction effluent gas.
  27. Froehlich, Robert; Fieselmann, Ben; Mixon, David; Tsuo, York, Reactor with silicide-coated metal surfaces.
  28. Siegele Stephen H. ; Noah Craig M. ; Gregg John N., Refillable ampule and method re same.
  29. Siegele, Stephen H.; Noah, Craig M.; Gregg, John N., Refillable ampule and method re same.
  30. Kanjolia, Ravi; Platts, Chris; Nguyen, Nam; Wilkinson, Mark, Solid precursor delivery assemblies and related methods.
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