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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0127660 (1980-03-06) |
발명자 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 34 인용 특허 : 3 |
An automatic production apparatus for processing semiconductor wafers which include a rotor rotatable about a substantially horizontal axis where the rotor includes a removable carrier capable of holding a plurality of semiconductor wafers or glass photomask plates and a plastic-coated bar for retai
An apparatus for processing semiconductor wafers and glass photomask plates comprising: a frame; said frame containing a tub means and a drive means; an axle means having a first end portion protruding through the center of a first end of said tub means by a seal and bearing means to prevent the esc
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