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Photoresist developers and process 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G03C-005/00
출원번호 US-0146642 (1980-05-05)
발명자 / 주소
  • Fisch Richard S. (St. Paul MN)
출원인 / 주소
  • Minnesota Mining and Manufacturing Company (St. Paul MN 02)
인용정보 피인용 횟수 : 8  인용 특허 : 5

초록

A developing solution for use with imaging film comprising a photoresist layer over an aluminum coated substrate and the process of developing the film are shown to be rapid acting. The developing solution comprises an aqueous solution having a pH of at least 12.5 of an alkali metal hydroxide and a

대표청구항

A process for forming an image on a photosensitive element comprising (1) a substrate, (2) a metal containing layer on said substrate, and (3) a photoresist layer on said aluminum containing layer, which photoresist layer becomes differentially soluble in aqueous alkaline solution in light struck ve

이 특허에 인용된 특허 (5)

  1. Gibson Sandra F. (St. Louis County MO) Fadler Norman L. (St. Peters MO), Apparatus and process for determining the susceptibility of microorganisms to antibiotics.
  2. Ikeda Tomoaki (Asaka JA) Ikeda Sadaharu (Asaka JA) Mizobuchi Yuzo (Asaka JA) Tomotsu Takeshi (Asaka JA), Metallic image forming material.
  3. Cohen Abraham B. (Springfield NJ) Heiart Robert B. (Middletown NJ), Method for making photoresists.
  4. Washizawa ; Yasuo ; Ikeda ; Tomoaki, Process for reducing halftone dot images.
  5. Bendz ; Diana Jean ; Bendz ; Gerald Andrei, Process for stripping resist layers from substrates.

이 특허를 인용한 특허 (8)

  1. Doan, Trung T., Chemical dispensing system for semiconductor wafer processing.
  2. Doan,Trung T., Chemical dispensing system for semiconductor wafer processing.
  3. Walls John E. (Wiesbaden Biebrich DEX), Developer composition with sodium, lithium and/or potassium salts for developing negative working imaged photographic ma.
  4. Matsumoto Hiroshi (Shizuoka JPX) Kita Nobuyuki (Shizuoka JPX), Developing solution for light-sensitive printing plates.
  5. Hsieh Shane (Bridgewater NJ), Inorganic lithium developer composition.
  6. Levanon, Moshe; Askadsky, Leonid, Method of providing lithographic printing plates.
  7. Orensteen Bruce D. (St. Paul MN) Bradshaw Thomas I. (Afton MN), Microlens sheet containing directional half-tone images and method for making the same.
  8. Kita Nobuyuki (Shizuoka JPX) Matsumoto Hiroshi (Shizuoka JPX) Hagiwara Hitoshi (Shizuoka JPX), Process for developing light-sensitive o-quinonediazide lithographic plates with developing solution having cobalt or ni.
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