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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0219685 (1980-12-24) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 39 인용 특허 : 5 |
This device comprises a v-shaped cavity in a planar semiconductor substrate having a substantially thin-walled v-shaped cantilever beam inset therein. The beam is movable in directions normal to and laterally of the plane of the substrate, whereby acceleration is sensed in both of these directions.
A planar semiconductor acceleration detecting device comprising a substrate of semiconductor material having an elongated v-shaped cavity therein, a v-shape cantilever beam arranged in said v-shaped cavity and depending from one end thereof for movement into and out of said cavity and movement from
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