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Vibration damping apparatus 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B01D-008/00
출원번호 US-0229735 (1981-01-29)
발명자 / 주소
  • Venuti Guy S. (56 Putnam St. Watertown MA 02172)
인용정보 피인용 횟수 : 22  인용 특허 : 0

초록

A cryogenic vacuum pump has an expander module suspended from the vacuum chamber of an electron microscope by a metal bellows which dampens the vibrations transmitted to the electron microscope from the expander module. A weight mounted on the expander module and disposed around the bellows counters

대표청구항

In apparatus for connecting the expander module of a cryogenic vacuum pump assembly to an opening in the bottom of the housing of a vacuum chamber, and including support means disposed about said pump, the improvement comprising, in combination: a tubular, elastic bellows formed with opposite open e

이 특허를 인용한 특허 (22)

  1. Tan, Jiubin; Wang, Lei; Wen, Rongwei; Zhao, Bo; Yang, Yuanyuan, Active vibration isolation device based on electromagnetic and aerostatic floatation.
  2. Rudick, Arthur G., Apparatus using stirling cooler system and methods of use.
  3. Roscher, Dietrich, Arrangement and method for damping vibrations during microscopic examinations.
  4. Ruocco Angari,Bernard, Cooled cryostat device.
  5. Miura Kazuo (Nara JPX) Kang Yoon M. (Sakai JPX) Taneya Shoichi (Sakai JPX) Noguchi Satoshi (Sakai JPX) Sakitani Katsumi (Kawachinagano JPX), Cryogenic refrigeration system for cooling a specimen.
  6. Tugal Halil (Windham NH), Cryopump with vibration isolation.
  7. Tugal Halil (Windham NH) Bent Bruce R. (Scituate MA), Cryopump with vibration isolation.
  8. Nomura Yoshio (Tokyo JPX), Electronic drum.
  9. Tugal Halil (Windham NH) Gaudet Peter W. (Chelmsford MA), Flex-line vibration isolator and cryopump with vibration isolation.
  10. Bchler Werner (Rsrath DEX) Forth Hans-Joachim (Cologne DEX) Klein Hans-Hermann (Rsrath DEX), Method of starting and/or regenerating a cryopump and a cryopump therefor.
  11. Buchanan Scott (San Diego CA), Nonimmersive cryogenic cooler.
  12. Takemoto Takeshi (Yamato JPX), Printing hammer assembly.
  13. Hasegawa Takayuki,JPX ; Tanaka Yutaka,JPX ; Fujioka Hidehiko,JPX, Processing system and device manufacturing method using the same.
  14. Hasegawa, Takayuki; Tanaka, Yutaka; Fujioka, Hidehiko, Processing system and device manufacturing method using the same.
  15. Takayuki Hasegawa JP; Yutaka Tanaka JP; Hidehiko Fujioka JP, Processing system and device manufacturing method using the same.
  16. Nagamune, Yasushi, Sample cooling apparatus.
  17. Sakitani Katsumi (Osaka JPX) Kang Yoon M. (Osaka JPX) Shinozaki Shinichiro (Osaka JPX) Taneya Shoichi (Osaka JPX) Miura Kazuo (Osaka JPX) Ogura Tadashi (Osaka JPX) Noguchi Satoshi (Osaka JPX), Very low temperature refrigerator.
  18. Cafri,Hagay; Kotik,Eyal; Pinhasi,Eitan; Krivts,Igor (Krayvitz), Vibration damper with nested turbo molecular pump.
  19. Averill Robert D. (Newport News VA), Vibration isolation and pressure compensation apparatus for sensitive instrumentation.
  20. Higham Graham J. (Ashland MA) Morris Ronald N. (Acton MA) Pruitt Gerald R. (Mendon MA), Vibration isolation system for a linear reciprocating machine.
  21. Higham Graham J. (Ashland MA) Morris Ronald N. (Acton MA) Pruitt Gerald R. (Mendon MA), Vibration isolation system for a linear reciprocating machine.
  22. Sundquist, Mark L., Vibration isolator for cryopump.
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