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Method and apparatus for surface characterization and process control utilizing radiation from desorbed particles 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G01N-023/22
  • H01J-037/26
출원번호 US-0380702 (1982-05-21)
발명자 / 주소
  • Feldman Leonard C. (Berkeley Heights NJ) Kraus Joseph S. (Stirling NJ) Tolk Norman H. (Mendham NJ) Traum Morton M. (Warren NJ) Tully John C. (Berkeley Heights NJ)
출원인 / 주소
  • Bell Telephone Laboratories, Incorporated (Murray Hill NJ 02)
인용정보 피인용 횟수 : 26  인용 특허 : 0

초록 ▼

Emission of characteristic electromagnetic radiation in the infrared, visible, or UV from excited particles, typically ions, molecules, or neutral atoms, desorbed from solid surfaces by an incident beam of low-momentum probe radiation has been observed. Disclosed is a method for characterizing solid

대표청구항 ▼

Method for analyzing a solid surface comprising (a) exposing at least part of the surface to a beam of probe radiation of intensity and energy such that the exposed surface area remains solid; (b) detecting responsive characteristic electromagnetic radiation in the infrared, visible, or UV part of t

이 특허를 인용한 특허 (26)

  1. Mark L. Moskovitz ; Bryan E. Kepner, Absorbent and/or catalyst and binder system and method of making and using therefor.
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  2. Moskovitz Mark L. ; Kepner Bryan E., Adsorbent and/or catalyst and binder system and method of making therefor.
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  3. Bryan E. Kepner ; Eric A. Mintz, Anchored catalyst system and method of making and using thereof.
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  4. Tabuse Kazuhiko,JPX ; Watanabe Masao,JPX, Apparatus and method for analysis of surface impurities in a very small region.
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  5. Iketaki Yoshinori (Oume JPX), Apparatus and method for analyzing surface.
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  6. Stern Howard (Greenlawn NY), Arrangement for improving visual detection of painted areas relative to surrounding material.
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  7. Bryan E. Kepner ; Eric A. Mintz, Compositions containing a biocidal compound or an adsorbent and/or catalyst compound and methods of making and using therefor.
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  8. O'Neill James Anthony ; Singh Jyothi, Control of etch selectivity.
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  9. Drobot Adam T. (Annandale VA), Defense system for discriminating between objects in space.
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  10. Lalovic,Ivan; LaFontaine,Bruno M., Detection of contamination in imaging systems by fluorescence and/or absorption spectroscopy.
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  11. Prince Kevin C. (Jlich DEX), Detector for bremsstrahlung-isochromatic-spectroscopy (BIS).
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  12. Koyama Akio,JPX ; Horiki Tsuyoshi,JPX ; Yoneda Akira,JPX, Electron impact elastic recoil hydrogen atom analyzer.
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  13. Moskovitz Mark L. ; Kepner Bryan E., Enhanced adsorbent and room temperature catalyst particle and method of making therefor.
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  14. An, Young-Sik, Exposure monitoring key to determine misalignment between blind and reticle.
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  15. Ward Billy W. (Rockport MA) Ward Michael L. (Gloucester MA), Focused ion beam imaging and process control.
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  16. Warschauer, Reinier Louis; Young, Richard J.; Rue, Chad; Carleson, Peter D., High accuracy beam placement for local area navigation.
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  17. Young, Richard J.; Rue, Chad; Carleson, Peter D, High accuracy beam placement for local area navigation.
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  18. Young, Richard J.; Rue, Chad; Carleson, Peter D., High accuracy beam placement for local area navigation.
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  19. Young, Richard J.; Rue, Chad; Carleson, Peter D.; Warschauer, Reinier Louis, High accuracy beam placement for local area navigation.
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  20. Kanakasabapathy, Sivananda K.; Ozcan, Ahmet S., Material removal process for self-aligned contacts.
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  21. Gandhi,Sunilkumar Babulal; Jeffery,Paul Douglas; McAnally,Gerard David, Method and apparatus for stand-off chemical detection.
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  22. Moskovitz Mark L. ; Kepner Bryan E., Method of making acid contacted enhanced aluminum oxide adsorbent particle.
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  23. Amano Haruo (Tokyo JPX), Method of manufacturing semiconductor device.
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  24. Rue, Chad, Navigation and sample processing using an ion source containing both low-mass and high-mass species.
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  25. Nohr Ronald Sinclair ; MacDonald John Gavin, Process of enhanced chemical bonding by electron seam radiation.
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  26. Engelsberg Audrey C., Removal of surface contaminants by irradiation using various methods to achieve desired inert gas flow over treated surf.
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