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특허 상세정보

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Method and apparatus for surface characterization and process control utilizing radiation from desorbed particles

특허상세정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) G01N-023/22    H01J-037/26   
미국특허분류(USC) 250/4591 ; 250/310
출원번호 US-0380702 (1982-05-21)
발명자 / 주소
출원인 / 주소
인용정보 피인용 횟수 : 26  인용 특허 : 0
초록
▼

Emission of characteristic electromagnetic radiation in the infrared, visible, or UV from excited particles, typically ions, molecules, or neutral atoms, desorbed from solid surfaces by an incident beam of low-momentum probe radiation has been observed. Disclosed is a method for characterizing solid surfaces based on the observed effect, with low-momentum probe radiation consisting of electrons or photons. Further disclosed is a method for controlling manufacturing processes that is also based on the observed effect. The latter method can, for instance, ...

대표
청구항

Method for analyzing a solid surface comprising (a) exposing at least part of the surface to a beam of probe radiation of intensity and energy such that the exposed surface area remains solid; (b) detecting responsive characteristic electromagnetic radiation in the infrared, visible, or UV part of the spectrum emitted by excited particles desorbed from the surface; characterized in that (c) the probe radiation consists of low-momentum radiation, “low-momentum radiation”being radiation that transfers negligible linear momentum to particles in the surface.

이 특허를 인용한 특허 피인용횟수: 26

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IPC 상위 출원인