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특허 상세정보

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Method of depositing a high-emissivity layer

특허상세정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) C23C-015/00   
미국특허분류(USC) 204/192C ; 204/192P
출원번호 US-0309656 (1981-10-08)
발명자 / 주소
  • Wickersham Charles E. (Columbus OH) Foster Ellis L. (Powell OH granted to U.S. Department of Energy under the provisions of 42 U.S.C. 2182)
인용정보 피인용 횟수 : 9  인용 특허 : 1
초록

A method of depositing a high-emissivity layer on a substrate comprising RF sputter deposition of a carbide-containing target in an atmosphere of a hydrocarbon gas and a noble gas. As the carbide is deposited on the substrate the hydrocarbon gas decomposes to hydrogen and carbon. The carbon deposits on the target and substrate causing a carbide/carbon composition gradient to form on the substrate. At a sufficiently high partial pressure of hydrocarbon gas, a film of high-emissivity pure carbon will eventually form over the substrate.

대표
청구항
▼

A method for depositing a carbon layer on a substrate comprising: providing a chamber for RF reactive sputter deposition, providing within the chamber a substrate and a target comprised of a carbide compound, providing a noble gas and a hydrocarbon gas to the chamber, applying RF power to the target to sputter deposit the carbide compound onto the substrate and to decompose the hydrocarbon gas to hydrogen and carbon such that carbon deposits on the target and substrate whereby a layer having a carbide/carbon composition gradient develops on the substrate...

이 특허에 인용된 특허 (1)

  1. Harding Geoffrey L. (Glebe AUX) McKenzie David R. (Artarmon AUX) Window Brian (Hornsby Heights AUX) Collins Anthony R. (Paddington AUX), Method of and apparatus for reactively sputtering a graded surface coating onto a substrate.

이 특허를 인용한 특허 (9)

  1. Rabalais John W. (Houston TX) Kasi Srinandan R. (Houston TX), Chemically bonded diamond films and method for producing same.
  2. Leini Arvo,SEX, Coated chain saw nose sprocket.
  3. Weisweiler Werner (Remchingen DEX) Nagel Gerd (Ludwigshafen DEX), Coating fibers with a layer of silicon.
  4. Flasck James D. (Rochester MI), Decorative carbon coating and method.
  5. Ranade, Alpana; Matos, Marvi A., Gradient thin films.
  6. Ranade, Alpana N.; Matos, Marvi A.; Ghabchi, Arash, Interlayer composite substrates.
  7. Kaganowicz Grzegorz (Belle Mead NJ) Robinson John W. (Levittown PA), Method of making liquid crystal devices with improved adherence.
  8. Takeoka Yoshikatsu (Kawasaki JPX) Ozawa Norio (Kawasaki JPX) Yasuda Nobuaki (Zushi JPX), Method of producing an optical information recording medium.
  9. Curren Arthur N. (North Ridgeville OH) Jensen Kenneth A. (Bay Village OH) Roman Robert F. (Brookpark OH), Textured carbon surfaces on copper by sputtering.

IPC 상위 출원인