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Ascending differential silicon harvesting means and method 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • C23C-011/00
출원번호 US-0425832 (1982-09-28)
발명자 / 주소
  • Ingle William M. (Phoenix AZ) Darnell Robert D. (Phoenix AZ) Thompson Stephen W. (Rosenberg TX)
출원인 / 주소
  • Motorola, Inc. (Schaumburg IL 02)
인용정보 피인용 횟수 : 22  인용 특허 : 8

초록

An improved means and method for extracting polycrystalline silicon from silicon source gases is provided wherein seed particles and source gases are reacted in a rising particle reaction chamber in which the gas velocity is sufficient to entrain and eject all seed particles smaller than a predeterm

대표청구항

A recirculating reactor system for reacting seed particles with a source gas, comprising: a reservoir for receiving said seed particles and having an input and output; a reactor having an input and an output coupled to said reservoir, adapted to permit lifting and transport of particles of less than

이 특허에 인용된 특허 (8)

  1. Hsu George C. (La Crescenta CA) Levin Harry (Woodland Hills CA) Hogle Richard A. (Arcadia CA) Praturi Ananda (Monrovia CA) Lutwack Ralph (Sunland CA), Fluidized bed silicon deposition from silane.
  2. Fujita Toshio (Fujishi JA) Takahashi Chigo (Fujishi JA) Ohshima Masanari (Fujishi JA) Ushioda Tsunezo (Tokyoto JA) Shimizu Hirozo (Fujishi JA), Method for producing coated fertilizer.
  3. Nishitani Teruyuki (Himeji JP), Method for sintering refractories and an apparatus therefor.
  4. Setty H. S. N. (Dalas TX) Yaws Carl L. (Dalas TX) Martin Bobby Ray (Plano TX) Wangler Daniel Joseph (Irving TX), Method of operating a quartz fluidized bed reactor for the production of silicon.
  5. Watson James M. (Big Spring TX), Polymerization inhibitor for vinyl aromatic compounds.
  6. Schumacher ; Joseph C., Process for the production of silicon of high purity.
  7. Wakefield Gene F. (Richardson TX), Silicon production and processing employing a fluidized bed.
  8. Padovani Francois A. (Dallas TX), Silicon seed production process.

이 특허를 인용한 특허 (22)

  1. Gül, Serhat; Ünlü, Namik; Aydar, Emir; Livatyali, Haydar; Nayir, Tanju; Akgün, Fehmi; Özdogan, Zeynep Sibel, Circulating fluidized bed gasification or combustion system.
  2. Boyle, James E.; Reynolds, Reese; Zehavi, Raanan Y.; Mytton, Robert W.; Cadwell, Tom L., Czochralski growth of randomly oriented polysilicon and use of randomly oriented polysilicon dummy wafers.
  3. Xia Changfeng ; Zhang Yanwei, Film growth system and method for spherical-shaped semiconductor integrated circuits.
  4. Allen Robert H. (Baton Rouge LA), Fluidized bed process.
  5. Yoon Poong (Seoul KRX) Song Yongmok (Chungnam KRX), Fluidized bed reactor with microwave heating system for preparing high-purity polycrystalline silicon.
  6. Miller, Matthew J.; Spangler, Michael V.; Zeininger, Gerald A.; Onstot, William J.; Stupin, Walter J., Joint design for segmented silicon carbide liner in a fluidized bed reactor.
  7. Lord, Stephen M, Machine for production of granular silicon.
  8. Narendrnath, Kadthala R.; Bhatnagar, Ashish; Martin, Daniel L.; Hirahara, Robert T.; Sheelavant, Gangadhar, Measuring flow properties of multiple gas nozzles of a gas distributor.
  9. Miller, Matthew J.; Spangler, Michael V., Method and apparatus to reduce contamination of particles in a fluidized bed reactor.
  10. Kajimoto Tsutomu (Amagasaki JPX) Horie Daizou (Amagasaki JPX) Sakurada Shin-ichi (Amagasaki JPX), Method for growing silicon single crystal.
  11. Auner, Norbert, Method for the production of silicon from silyl halides.
  12. Auner, Norbert, Method for the production of silicon from silyl halides.
  13. Stephen M Lord, Method of improving the efficiency of a silicon purification process.
  14. Poong Yoon (Seoul KRX) Yongmok Song (Chungnam KRX), Method of preparing a high-purity polycrystalline silicon using a microwave heating system in a fluidized bed reactor.
  15. Yilmaz, Sefa; Miller, Matthew J.; Spangler, Michael V.; Wemp, Barry; Julsrud, Stein, Non-contaminating bonding material for segmented silicon carbide liner in a fluidized bed reactor.
  16. Miller, Matthew; Spangler, Michael V.; Wemp, Barry; Osborne, E. Wayne, Probe assembly for a fluid bed reactor.
  17. Schreieder Franz,DEX ; Kim Hee Young,KRX, Process for preparing highly pure silicon granules.
  18. Hee-Young Kim KR, Process for preparing polysilicon using exothermic reaction.
  19. Chu, Xi, Reactor and method for producing high-purity granular silicon.
  20. Osborne, E. Wayne; Miller, Matthew J.; Spangler, Michael V.; Zeininger, Gerald A.; Onstot, William J.; Stupin, Walter J., Segmented silicon carbide liner.
  21. Lord Stephen M. ; Milligan Robert J., Silicon deposition reactor apparatus.
  22. Auner, Norbert; Holl, Sven; Bauch, Christian; Lippold, Gerd; Deltschew, Rumen, Solid polysilane mixtures.
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