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Optical apparatus having a mirror 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G02B-005/08
출원번호 US-0325383 (1981-11-27)
우선권정보 JP-0167511 (1980-11-28)
발명자 / 주소
  • Watanabe Yoshio (Yokohama JPX) Iijima Nobuo (Yokohama JPX)
출원인 / 주소
  • Fujitsu Limited (Kawasaki JPX 03)
인용정보 피인용 횟수 : 8  인용 특허 : 0

초록

An optical apparatus wherein a mirror is mounted on a stage. On such stage a supporting portion is provided and the mirror is fixed such to supporting portion at a single portion of the mirror. At the free end portions of the mirror, which are not fixed to the stage, the end surface is in contact wi

대표청구항

An optical apparatus for a stage comprising; a supporting portion provided on said stage, a mirror which is fixed at a single portion thereof to said supporting portion and having a free end portion not fixed to said stage, and a buffering member in contact with an end surface of said free end porti

이 특허를 인용한 특허 (8)

  1. Sztuk, Sebastian, Eye tracking apparatus.
  2. Iwase Akira (Shizuoka JPX) Suzuki Akira (Shizuoka JPX), High-accuracy traveling table apparatus.
  3. Loopstra, Erik R.; van Dijsseldonk, Antonius J. J., Lithographic projection apparatus with positioning system for use with reflectors.
  4. Loopstra, Erik R.; van Dijsseldonk, Antonius J. J., Lithographic projection apparatus with positioning system for use with reflectors.
  5. Melzer,Frank; Bingel,Ulrich, Method of connecting a multiplicity of optical elements to a basic body.
  6. Schwartz Richard A., Mount for telescope mirrors.
  7. Ahmad Anees (Bethel CT) Huse Richard L. (Norwalk CT), Mounting for high resolution projection lenses.
  8. Kugler, Jens; Weber, Ulrich; Schaffer, Dirk, Optical element module with minimized parasitic loads.
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