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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0445030 (1982-11-29) |
우선권정보 | JP-0193491 (1981-12-01) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 17 인용 특허 : 0 |
A container for a piece of substrate such as reticle, mask or wafer is disclosed. The container comprises a housing body having an opening for receiving a substrate, a door for closing and opening said opening of the housing body and means for fixing the received substrate to the container. Said fix
A container for containing therein a planar substrate, said container comprising: (a) housing means provided with an opening which said substrate can pass through in the direction substantially parallel to the plane of said substrate, and with an inner space for receiving said substrate; (b) door me
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