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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0466122 (1983-02-14) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 13 인용 특허 : 2 |
A cryopump installation in which a novel cryopump 20 maintains a work chamber 12 at continuous high vacuum while periodically evacuating a load lock 14 in order to allow transfer of material from the load lock 14 to the work chamber 12 without disruption of the work chamber environment. The cryopump
A cryopump system comprising: a. a work chamber; b. a load lock for receiving material to be introduced into the work chamber; c. a cryopump housing in fluid communication with each of the work chamber and load lock; d. a two stage refrigerator within the cryopump housing; e. a second stage cryopump
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