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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0330262 (1981-12-14) |
우선권정보 | GB-0040921 (1980-12-20) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 31 인용 특허 : 1 |
Substrates on which vapor deposition is to take place are mounted on the outside of a generally bell-shaped susceptor which is itself mounted immediately outside a similarly shaped shield which is transparent to infra-red radiation. Infra-red lamps are mounted within the shield and the radiant heat
Vapour deposition apparatus for the deposition of a film on a substrate, comprising a source of radiant heat, mounting means for mounting the substrate to be heated by the radiant heat source, means defining a passageway over the substrate, means for passing reactant gas through the passageway so as
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