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High temperature ultra-high vacuum infrared window seal 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • E06B-003/00
  • F16D-001/00
출원번호 US-0372341 (1982-04-27)
발명자 / 주소
  • Manuccia Thomas J. (Silver Springs MD) Peele John R. (Alexandria VA) Geosling Christine E. (Oakton VA)
출원인 / 주소
  • The United States of America as represented by the Secretary of the Navy (Washington DC 06)
인용정보 피인용 횟수 : 19  인용 특허 : 2

초록

A window seal apparatus capable of transmitting infrared radiation for use under high temperature ultra-high vacuum conditions. The apparatus includes a window clamped between an annular rim of a clamp flange and an annular rim of a sealing flange. The rim of the sealing flange includes an annular s

대표청구항

A temperature cyclable sealing structure for use under high temperature, high vacuum conditions, comprising: a sealing flange member coupled with an aperture in a body and sealed thereto, said sealing flange including a continuous annular rim, said annular rim of said sealing flange including a rais

이 특허에 인용된 특허 (2)

  1. Walker James V. (Redondo Beach CA), Backed boss seal fitting.
  2. Yancey Gary K. (Athens TX), Compatible vacuum seal.

이 특허를 인용한 특허 (19)

  1. Gat Arnon ; Champetier Robert J. ; Fabian Ram Z.,ILX, Apparatus and method for filtering light in a thermal processing chamber.
  2. Douglas, Timothy A., Composite disc axial dampener for buildings and structures.
  3. Gronet Christian M. (Palo Alto CA) Gibbons James F. (Palo Alto CA), Cooling chamber for a rapid thermal heating apparatus.
  4. Sibilo Grard (Le Plan De Grasse FRX) Louis Michel (Nice FRX), Device for fixing an optical member such as a filter to a support.
  5. Hathaway Kevin, Heating device containing a multi-lamp cone for heating semiconductor wafers.
  6. Gat Arnon, Heating device for semiconductor wafers.
  7. Vosen Steven R., Heating device for semiconductor wafers.
  8. Bahl Suneet, Method and apparatus for enhancing the efficiency of radiant energy sources used in rapid thermal processing of substrates by energy reflection.
  9. Montezinos David Lee, Method of making beverages having stable flavor/cloud emulsions in the presence of polyphosphate-containing preservativ.
  10. Gronet Christian M. (Palo Alto CA) Gibbons James F. (Palo Alto CA), Rapid thermal heating apparatus and control therefor.
  11. Gronet Christian M. ; Gibbons James F., Rapid thermal heating apparatus and method.
  12. Gronet Christian M. ; Gibbons James F., Rapid thermal heating apparatus and method.
  13. Christian M. Gronet ; James F. Gibbons, Rapid thermal heating apparatus and method including an infrared camera to measure substrate temperature.
  14. Gronet Christian M. ; Gibbons James F., Rapid thermal heating apparatus and method including an infrared camera to measure substrate temperature.
  15. Gronet Christian M. ; Gibbons James F., Rapid thermal heating apparatus including a plurality of light pipes and a pyrometer for measuring substrate temperature.
  16. Kim, Duk-Jung, Rechargeable battery module.
  17. Smith, III,Robert E., Seal retainer with metal seal members for undersea hydraulic coupling.
  18. Kerber, Onika Misasha; Johns, David Richard, Spring seal assembly and method of sealing a gap.
  19. Foster Robert F. (Phoenix AZ) Shekerjian Brian (Tempe AZ) Hillman Joseph T. (Scottsdale AZ), Thermal cycle resistant seal and method of sealing for use with semiconductor wafer processing apparatus.
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