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Thermal mass flowmetering

국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G01F-001/68
출원번호 US-0397109 (1982-07-12)
발명자 / 주소
  • Ewing James H. (Brockton MA) Ramberg Fred G. (Salem MA)
출원인 / 주소
  • MKS Instruments, Inc. (Burlington MA 02)
인용정보 피인용 횟수 : 18  인용 특허 : 3

초록

Metering and related control of fluid flow are achieved both accurately and at high response speed by way of a unique sequencing of thermal exchanges with the fluid under closely-regulated and inter-dependent thermal conditions. The flowing fluid is first conditioned by being raised to a temperature

대표청구항

Flowmeter apparatus comprising conditioning means for regulating the temperature of a flowing fluid by exchanging heat therewith in response to a supply of energy, thermal means disposed in heat-exchange relationship with the fluid regulated in temperature by said conditioning means for both exchang

이 특허에 인용된 특허 (3)

  1. Olmstead John Aaron (Somerville NJ), Fluid flow measuring system.
  2. Blair Richard F. (Palos Verdes Peninsula CA), Mass flow meter with reduced attitude sensitivity.
  3. Trageser James H. (Dayton OH), Method and apparatus for effecting fluid flow measurement in a single sensor.

이 특허를 인용한 특허 (18)

  1. Ambrosina, Jesse; Shajii, Ali, Apparatus and method for thermal dissipation in a thermal mass flow sensor.
  2. Ambrosina, Jesse; Suzuki, Isao, Apparatus and method for thermal isolation of thermal mass flow sensor.
  3. Ambrosina, Jesse; Suzuki, Isao; Shajii, Ali, Apparatus and method for thermal management of a mass flow controller.
  4. Van Der Wiel, Appolonius Jacobus, Calorimetric flow meter having high heat conductivity strips.
  5. Van Der Wiel, Appolonius Jacobus, Calorimetric flow meter having high heat conductivity strips.
  6. Hofmann James J. (Hacketts Town NJ) Hoffman Robert R. (Lake Hopatcong NJ) Felts John T. (Alameda CA), Controlled flow vaporizer.
  7. Mawardi Osman K. (15 Mornington La. Cleveland Heights OH 44106), Flow sensor.
  8. Ritchart Thomas R., Fluid thermal mass flow sensor.
  9. Barry E. Caldwell, Heat dissipating apparatus and method for electronic components.
  10. Maginnis ; Jr. Thomas O. (Dracut MA), Heater with tapered heater density function for use with mass flowmeter.
  11. Saito,Teruhisa, In-vehicle electronic device, thermal flowmeter and electronic circuit board.
  12. Lucas Paul D., Mass flow transducer having extended flow rate measurement range.
  13. Isoda Yoritaka (Amagasaki JPX), Mass flowmeter.
  14. Alvesteffer William J. ; Huang Yufeng ; Eget Larry, Method and apparatus for measuring a fluid.
  15. Rani Robert G., Non-invasive system and method for a fluid flow monitoring system.
  16. Loan James ; LeFavour John ; Lischer D. Jeffrey ; Sullivan Laura A. ; Planchard David, Pressure-based mass flow controller.
  17. Razzaghi, Mahmoud, Sensor and control system.
  18. Atherton, Eric, System and method for monitoring fluid flow through an electrical submersible pump.
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