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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0486152 (1983-04-18) |
우선권정보 | DE-3024751 (1980-06-30) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 3 인용 특허 : 1 |
A generally trough-like elongated element is formed of quartz glass, open at the top, in which the side walls (2) which, preferably, have inclined portions (4) merging with the bottom wall (1) of the trough, are formed with through-slits (3), and the bottom wall is formed with slots (5) cut therein,
A semi-conductor substrate handling tray to receive and hold disk or plate-like semi-conductor substrates comprising a generally trough-like elongated element of quartz glass which is open at the top and at the ends, and having a bottom wall (1) and side walls (2), said side walls having upper porti
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