최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
---|---|
국제특허분류(IPC7판) |
|
출원번호 | US-0494758 (1983-05-13) |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
인용정보 | 피인용 횟수 : 15 인용 특허 : 2 |
A cryopump 20 with increased adsorptive capacity comprising a honeycomb adsorption structure 46 positioned within a second stage chevron assembly 40. Multiple chambers 58 of the honeycomb are covered with adsorbent charcoal 68. The entire structure 46 is attached to a second stage 52 of a cryogenic
A cryopump comprising: a. a cryogenic refrigerator; b. a condensing cryopanel mounted to a low temperature heat sink on the refrigerator; and c. a honeycomb structure enclosed within said cryopanel, comprising an array of levels stacked along an axis, each level comprising a plurality of side-by-sid
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.