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Cryopump with improved adsorption capacity 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B01D-008/00
출원번호 US-0494758 (1983-05-13)
발명자 / 주소
  • Lessard Philip A. (Acton MA)
출원인 / 주소
  • Helix Technology Corporation (Waltham MA 02)
인용정보 피인용 횟수 : 15  인용 특허 : 2

초록

A cryopump 20 with increased adsorptive capacity comprising a honeycomb adsorption structure 46 positioned within a second stage chevron assembly 40. Multiple chambers 58 of the honeycomb are covered with adsorbent charcoal 68. The entire structure 46 is attached to a second stage 52 of a cryogenic

대표청구항

A cryopump comprising: a. a cryogenic refrigerator; b. a condensing cryopanel mounted to a low temperature heat sink on the refrigerator; and c. a honeycomb structure enclosed within said cryopanel, comprising an array of levels stacked along an axis, each level comprising a plurality of side-by-sid

이 특허에 인용된 특허 (2)

  1. Welch Kimo M. (Mountain View CA), Cryogenic pumping apparatus with replaceable pumping surface elements.
  2. Carle Jacques (Saint Martin D\Heres FRX), Cryopumps.

이 특허를 인용한 특허 (15)

  1. Vetrovec Jan, Chemical oxygen-iodine laser (coil)/cryosorption vacuum pump system.
  2. Lombardini Lapo (Florence ITX) Bardi Gianluca (Florence ITX), Cryogenic pump with refrigerator with the geometry of the shields, suitable for achieving a high efficiency and an exten.
  3. Larin Marxen P. (prospekt Nauki ; 29 ; kv. 78 Leningrad SUX) Alexandrov Maxim L. (prospekt Engelsa ; 63 ; korpus 3 ; kv. 89 Leningrad SUX) Nikolaev Valery I. (prospekt Rentgena ; 15/31 ; kv. 8 Lening, Cryogenic sorption pump.
  4. Syssoev, Sergei; Bartlett, Allen J.; Casello, John J.; Wells, Jeffrey A.; Eacobacci, Jr., Michael J., Cryopump.
  5. Syssoev, Sergei; Bartlett, Allen J.; Casello, John J.; Wells, Jeffrey A.; Eacobacci, Jr., Michael J., Cryopump.
  6. Yatsu, Takahiro, Cryopump and method for vacuum pumping non-condensable gas.
  7. Eacobacci, Jr., Michael J.; Bartlett, Allen J.; Casello, John J.; Wells, Jeffrey A., Cryopump with controlled hydrogen gas release.
  8. Lessard Philip A. (Acton MA) Andeen Bruce R. (Acton MA), Cryopump with quicker adsorption.
  9. Bartlett,Allen J.; Nordborg,John; Thompson,Brian, High conductance cryopump for type III gas pumping.
  10. Kaplan George R. ; Shachrai Avigdor,ILX ; Anner Oded,ILX ; Gurvich Leonid,ILX, Laser making system and certificate for a gemstone.
  11. George R. Kaplan ; Avigdor Shachrai IL; Oded Anner IL; Leonid Gurvich IL, Laser marking system.
  12. Kaplan George R. ; Shachrai Avigdor,ILX ; Anner Oded,ILX ; Gurvich Leonid,ILX, Laser marking system.
  13. Hattori,Wataru, Radio receiver.
  14. Ullman, Alan Zachary; Vetrovec, Jan; McDermott, William E., SECOIL reprocessing system.
  15. Ullman, Alan Zachary; Vetrovec, Jan; Bauer, Arthur H.; McDermott, William E., Sealed exhaust chemical oxygen-iodine laser system.
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