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Carrier for cleaning and etching wafers

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B23Q-001/04
출원번호 US-0407732 (1982-08-13)
우선권정보 JP-0036024 (1982-03-15)
발명자 / 주소
  • Aigo Seiichiro (3-15-13 Negishi
  • Daito-ku
  • Tokyo JPX)
인용정보 피인용 횟수 : 11  인용 특허 : 2

초록

A carrier supports a single lot of prescribed sheets of semiconductor wafers so as to transfer the semiconductor wafers from one processing step to another processing step in their cleaning and etching processing. The carrier, or a container for the carrier, includes an information member holder and

대표청구항

In a carrier for supporting a single lot of prescribed sheets of semiconductor wafers so as to transfer the single lot of prescribed sheets of semiconductor wafers from one processing step to another processing step in their cleaning and etching processing, in combination with equipment for effectin

이 특허에 인용된 특허 (2)

  1. Riccitelli James A. (2257 Glenkirk Drive San Jose CA 95124), Electronic security card and system for authenticating card ownership.
  2. Giraud Georges (20 ; rue Dieumegard 93406 Saint-Ouen FRX) Mollier Jean H. (20 ; rue Dieumegard 93406 Saint-Ouen FRX), System for keeping account of predetermined homogenous units.

이 특허를 인용한 특허 (11)

  1. Rose Peter H. ; Sferlazzo Piero ; van der Heide Robert G., Aerosol surface processing.
  2. Rose Peter H. ; Sferlazzo Piero ; van der Heide Robert G., Aerosol surface processing.
  3. Nakagawa Masakatu (Kusatsu JPX), Bank note cartridge identification system for cash dispenser.
  4. Hans Moritz DE, Device for unilateral etching of a semiconductor wafer.
  5. Cheesebrow Nicholas T. ; Eggum Shawn D. ; Kos Robert D. ; Williams Randy S., Disk carrier with transponder.
  6. Baumeister Hans-Peter (Churchville NY), Disk container supporting a detachable memory.
  7. Dressen Larry G., Location monitoring of wafer batches.
  8. Rose Peter H. ; Sferlazzo Piero, Processing a surface.
  9. Wu, Kung Chris; Wu, Chen; Huang, Chien-Rong; Hsu, Jui-Hung, Radio frequency identification device.
  10. Hsueh,Tsung Chih; Chen,Ying Cheng, Smart tag holder and cover housing.
  11. Levi Mark W. (Utica NY), Wafer cleaning method.
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