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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0407732 (1982-08-13) |
우선권정보 | JP-0036024 (1982-03-15) |
발명자 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 11 인용 특허 : 2 |
A carrier supports a single lot of prescribed sheets of semiconductor wafers so as to transfer the semiconductor wafers from one processing step to another processing step in their cleaning and etching processing. The carrier, or a container for the carrier, includes an information member holder and
In a carrier for supporting a single lot of prescribed sheets of semiconductor wafers so as to transfer the single lot of prescribed sheets of semiconductor wafers from one processing step to another processing step in their cleaning and etching processing, in combination with equipment for effectin
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