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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0426500 (1982-09-29) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 16 인용 특허 : 1 |
A substrate support module (10) includes a series of vertically arranged guide shelves (12, 14 and 16) having front, intermediate and rear circular bosses (34, 36 and 38) projecting from opposite ends thereof. The first and third bosses (34 and 38) are tangentially received in elongated horizontal s
A substrate support module, which comprises: at least one essentially planar guide shelf having guide means for guiding an edge of a substrate when the substrate is inserted into the substrate support module; a pair of side support members located adjacent respective opposite ends of the guide shelf
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