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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0416723 (1982-09-10) |
우선권정보 | GB-0027638 (1981-09-14) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 86 인용 특허 : 1 |
An electrostatic chuck for holding a simiconductor wafer flat in a charged particle beam machine has thermally conductive portions for supporting the wafer. An electrically conductive member, for example a grid, has parts which extend between the thermally-conductive portions and is separated from t
An electrostatic chuck for holding a semiconductor wafer in a fixed plane relative to said chuck, which chuck comprises an electrically conductive member separated from said fixed plane by a layer of dielectric material, means for electrically contacting the wafer, and means for supporting the wafer
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