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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0548040 (1983-11-03) |
우선권정보 | GB-0031794 (1981-10-21) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 159 인용 특허 : 2 |
An amorphous, carbonaceous, diamond-like film and a process for producing the same is disclosed. The film has an extremely low hydrogen content and an extremely low stress, is resistant to both acids and alkalis, and adheres tenaciously to many types of substrates including glasses, plastics, metals
A process for depositing an amorphous, carbonaceous film having a stress below 1010 dynes/cm2 and a hydrogen content of one or less atomic percent on a substrate in an evacuated deposition chamber having an internal pair of substantially horizontal and parallel, vertically spaced carbon electrodes,
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