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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0604968 (1984-04-27) |
발명자 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 11 인용 특허 : 5 |
Method and apparatus are disclosed for coating substrates with a film polymer based on p-xylylene by vapor-phase polymerization. The apparatus monitors the monomer vapor pressure after pyrolization of the cyclic di-p-xylylene dimer, compares the measured pressure to a predetermined pressure needed t
In a method of coating substrates with polymer film based on p-xylylene which includes vaporizing di-p-xylylene dimer, pyrolizing the vaporized dimer to the monomeric diradicals, and depositing the film by vapor-phase polymerization of the monomer vapor, the improvement comprising the steps of conti
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