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Ion source with improved primary arc collimation

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • H01J-007/24
출원번호 US-0562147 (1983-12-16)
발명자 / 주소
  • Dagenhart William K. (Oak Ridge TN)
출원인 / 주소
  • The United States of America as represented by the United States Department of Energy (Washington DC 06)
인용정보 피인용 횟수 : 15  인용 특허 : 1

초록

An improved negative ion source is provided in which a self-biasing, molybdenum collimator is used to define the primary electron stream arc discharge from a filament operated at a negative potential. The collimator is located between the anode and the filament. It is electrically connected to the a

대표청구항

In an ion source for generating negative ions from a selected molecular species wherein said selected species is introduced in a gaseous state into a converter chamber of a housing including a converter plate disposed within said converter chamber, said converter plate having an ion converter surfac

이 특허에 인용된 특허 (1)

  1. Stinnett Regan W. (Albuquerque NM), Negative ion generator.

이 특허를 인용한 특허 (15)

  1. Holmes Andrew J. T. (Abingdon GBX), Charged particle control device.
  2. Horsky, Thomas Neil, Dual mode ion source for ion implantation.
  3. Hahto, Sami K.; Goldberg, Richard; McIntyre, Edward; Horsky, Thomas N., External cathode ion source.
  4. Hahto, Sami K.; Goldberg, Richard; McIntyre, Edward; Horsky, Thomas N., External cathode ion source.
  5. Tanaka, Samuel Lewis; Platt, Christopher L.; Greenberg, Thomas Larson, Filament holder for hot cathode PECVD source.
  6. Weisenberger Wesley (Mountain View CA), Ion implantation apparatus.
  7. Horsky, Thomas Neil, Ion implantation ion source, system and method.
  8. Horsky, Thomas Neil; Williams, John Noel, Ion implantation ion source, system and method.
  9. Horsky,Thomas Neil, Ion implantation ion source, system and method.
  10. Horsky,Thomas Neil; Williams,John Noel, Ion implantation ion source, system and method.
  11. Horsky,Thomas Neil; Williams,John Noel, Ion implantation ion source, system and method.
  12. Horsky,Thomas Neil; Williams,John Noel, Ion implantation ion source, system and method.
  13. Siegfried,Daniel E.; Burtner,David Matthew; Townsend,Scott A.; Alexeyev,Valery, Modular ion source.
  14. Kato, Yoichi, Negative ion emitting method and apparatus therefor.
  15. Whealton John H. (Oak Ridge TN) Stirling William L. (Oak Ridge TN), Negative ion source with low temperature transverse divergence optical system.
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