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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0678935 (1984-12-06) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 9 인용 특허 : 4 |
A mass airflow sensor with backflow detection includes a first, second, and third elongated, relatively thin silicon members generally parallel to each other and spaced from each other in an orienting plane. The second silicon member, between the first and third silicon members, has a metal coating
1. A mass airflow sensor with backflow detection including: a first elongated, relatively thin silicon member positioned in an orienting plane, having a silicon oxide coating and having a metal coating; a second and a third elongated, relatively thin silicon members positioned in the orienting p
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