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Gas supplying apparatus 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B01F-003/04
출원번호 US-0677588 (1984-12-03)
우선권정보 JP-0226750 (1983-12-02)
발명자 / 주소
  • Takimoto Hiroaki (Yokohama JPX) Miyajiri Tetsuo (Yokohama JPX) Yoshida Kiminobu (Yokohama JPX) Turita Tamio (Yokohama JPX)
출원인 / 주소
  • Sumitomo Electric Industries, Ltd. (Osaka JPX 03)
인용정보 피인용 횟수 : 6  인용 특허 : 3

초록

A gas supply apparatus for supplying gaseous raw material of an article to a processing apparatus, including at least one main vessel for storing liquid raw material of the article and supplying the gaseous raw material to the processing apparatus, an auxiliary vessel for storing liquid raw material

대표청구항

A gas supplying apparatus for supplying gaseous raw material of an article to a processing apparatus, comprising: at least one main vessel for storing liquid raw material of said article, which generates said gaseous raw material constituted by vapor of said liquid raw material mixed with carrier ga

이 특허에 인용된 특허 (3)

  1. Garrard Bruce (126 Montgomery Ferry Dr. NE. Atlanta GA 30309), Gas and liquid admixing system.
  2. Partus Fred P. (Cobbs County GA), Vapor delivery control system and method.
  3. Partus Fred P. (Cobb County GA), Vapor delivery system and method of maintaining a constant level of liquid therein.

이 특허를 인용한 특허 (6)

  1. Sielaff Gnter (Bensheim DEX) Joseph Frank (Gernsheim DEX) Harder Norbert (Aschaffenburg DEX), Apparatus for producing a gas mixture by the saturation method.
  2. Lipisko Bruce A. (Carlsbad CA) Schumacher John C. (Rancho Santa Fe CA) Howard Richard E. (Escondido CA) Randtke Peter T. (San Marcos CA) Sandu Adrian (La Mesa CA) Fletcher Robert E. (Vista CA) Graf H, Chemical refill system.
  3. Takeshita, Kazuhiro; Nagashima, Shinji; Mizutani, Yoji; Katayama, Kyoshige, Gas treatment apparatus.
  4. Durukan, Ilker; Rasheed, Muhammad M.; Ma, Paul F., Methods and apparatus for liquid chemical delivery.
  5. Reynolds Warren D. (3455 Spanish Way Carlsbad CA 92008), Process and apparatus for vapor transfer of very high purity liquids at high dilution.
  6. Moriyama, Masashi; Yamahira, Yutaka; Matsuyama, Yuji, Processing liquid supply unit.
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