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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0585094 (1984-03-01) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 202 인용 특허 : 3 |
A microminiature valve having a multilayer integral structure formed on a semiconductor substrate. The valve comprises a semiconductor substrate having inlet and outlet apertures and a raised valve seat. The substrate is overlayed with a nonporous top layer and an intermediate layer. The central por
A microminiature valve comprising: a semiconductor substrate having an inlet aperture for receiving a pressurized fluid, an outlet aperture and a raised valve seat protruding from the top surface of said substrate and circumscribing said inlet aperture; an integral semiconductor intermedate layer gr
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