최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
---|---|
국제특허분류(IPC7판) |
|
출원번호 | US-0612611 (1984-05-21) |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
인용정보 | 피인용 횟수 : 3 인용 특허 : 7 |
A vacuum processing apparatus and method utilize a vacuum chamber formed from a pair of casing sections, one of which is movable in to and out of sealing engagement with the other casing section. The movable casing section is equipped to carry a workpiece such that the workpiece is carried by the mo
A processing apparatus, comprising a first casing section, including a processing station; a second casing section; moving means for moving said second casing section toward and away from said first casing section between a first position in which said second casing section is out of sealing engagem
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.