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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0593287 (1984-03-26) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 11 인용 특허 : 7 |
A system for transfering discs, such as integrated circuit wafers during manufacture, from a location at atmospheric pressure into a vacuum chamber of an electron microscope or the like with a minimum of vacuum loss to the chamber. A wafer is placed on a moveable holder in a small sealable chamber h
In combination with a vacuum chamber, a handling system for transfering wafer discs from a position at atmospheric pressure to and from the interior of the vacuum chamber with minimum loss of vacuum from said chamber, said handling system comprising: a sealable gate through the side wall in the vacu
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