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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0571194 (1984-01-16) |
우선권정보 | JP-0005182 (1983-01-18); JP-0073037 (1983-04-27) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 5 인용 특허 : 1 |
The heater member of a furnace for heating the crucible used for fusing raw materials for a semiconductor single crystal is provided with reinforcing members made of a material such as alumina or pyrolytic boron nitride which excels in electric insulating property, resistance to heat, and strength.
An apparatus for the manufacture of a semiconductor single crystal, comprising a furnace possessing a heater member adapted to heat a crucible for fusing raw materials for the crystal, insulative thermally resistant reinforcing members for reinforcing said heater member of said furnace, and a magnet
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