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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0728121 (1985-04-29) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 14 인용 특허 : 2 |
A closed-cycle gas scrubbing or purification system is described for noble gas and fluorine mixtures, such as are typically used in rare-gas fluoride (excimer) lasers. In a first reaction zone, the fluorine in the gas mixture is converted to titanium tetrafluoride vapor by reaction with titanium at
A closed-cycle gas purification method for rare-gas fluorine mixtures, comprising the steps of: contacting a gas mixture comprising a rare gas and fluorine with titanium at a temperature above 150 degrees C. to convert fluorine in said gas mixture to titanium tetrafluoride vapor, said titanium possi
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